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上海市所在地
10.5 升的LOW-COST-PLASMA-LABORANLAGE ATTO 为手动型，配有 PC 和 PCCE 控制系统，主要用于以下领域：
小批量生产
分析 (REM, TEM)
医疗技术
灭菌
研究和开发部门
考古
纺织技术
塑料技术
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| 等离子设备 Atto，配有手动控制系统、等离子清洗器、等离子灰化器、等离子蚀刻机、等离子活化系统，用于小批量工艺研发、清洗、活化、蚀刻 | 等离子设备 Atto，配有外部 PC 控制系统、等离子清洗器、等离子灰化器、等离子蚀刻机、等离子活化系统，用于小批量工艺研发、清洗、活化、蚀刻 - 等离子系统 | 等离子设备 Atto，配有内置式 PC 控制系统、等离子清洗器、等离子灰化器、等离子蚀刻机、等离子活化系统，用于小批量工艺研发、清洗、活化、蚀刻 - 等离子系统 |
系列 | Atto 手动控制 | Atto 外部PC控制 | Atto 集成PC控制 |
控制系统 | 手动型、通过模拟计时器测定工艺时间 | PC-控制系统 (Microsoft Windows XP) | PC-控制系统 (Microsoft Windows CE) |
体积 | 10.5L | ||
真空腔室 | 玻璃材质、∅ 211 mm、长 300 mm | ||
样品支架 | 1个样品支架 | ||
气源 | 2 个由针型阀控制的气体通道 | 2 个由 MFCs 控制的气体通道 | 2 个由 MFCs 控制的气体通道 |
高频电流发生器 | 40 kHz/200 W 或者 13.56 MHz/50 W,300W | ||
真空泵 | 8 m3/h | ||
外尺寸 | 宽 525 mm、高 275 mm、深 450 mm | ||
电源电压 | AC220V | ||
