产品介绍

YAMATO等离子装置，13.56MHz 高频输出的等离子清洗机，搭载 RIE·DP 双模式。

使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式高性能型号，调取数据简单，以电子材料为中心，可对应多种用途。

特征：

• 可变更电极构造提高等离子效果。
• 搭载高精度适配器，高性能RF 电源。
• 可根据需求规格提供定制。

用途：

• 硅晶圆的灰化及蚀刻
• 基板表面污垢处理
• IC/LED封装、BGA/CSP基板处理
• 半导体相关部品的电子材料的干式清洗
• 自然氧化膜·有机物去除
• 界面活性处理
• 表面污染物去除

技术参数：

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PDC600小型、多段式等离子清洗机。

用途：

• 提高各种材料的粘接性、表面改质处理
• 灰化、蚀刻处理
• 塑料封装前处理
• 印刷基板镀层前处理
• LED关联部品处理
• 电子部品清洗
• 光刻胶剥离或表面残留物去除
• 光学、金属、机械部品等精密部件的清洗
• 包含氟化树脂的树脂类产品表面改质
• FCC对应

特征：

• YAMATO等离子装置，600W的小型高输出功率
• 电极可选择1·2·3段（采购时选）
• 可处理纵型的试料收纳盒
• 可选择RIE/DP模式（采购时选）
• 数据记录器（选配）
• 适配点记忆功能（选配）

技术参数：