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洁净室工艺平面布置应合理、紧凑，室内应布置必要的工艺设备，以及有空气洁净度等级要求的工序和工作室。洁净室内要求空气洁净度等级高的工序应布置在上风侧，易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置。
一般包括洁净区、准洁净区和辅助区三部分。为了在操作中尽量减少人活动产生的污染，人员在进入洁净区之前，必须更换洁净服并吹淋、洗澡、消毒，同时各种物件在送入洁净区前也必须经过净化处理，物料净化路线与人净路线应分开，如果物料与人员只能在同一处进入洁净室，也必须分门而入，物料先经过粗净化处理。
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