真空实验箱体

产品编号：20240328-07

产品商家：固安县双玉仪器设备有限公司

产品名称：真空实验箱体非标订制一件起订，欢迎新老客户咨询定制

产品介绍：实验箱体的参考配置，仅供参考：温度均匀性：≤±1.5%℃；

升温速度：0-8℃/min；

氧浓度：≤20ppm

工作尺寸：2-12寸晶圆及方片兼容，可尺寸定制

电源：AC380V/50HZ,

操作方式：人机界面+PLC，自动控制，程式运行

进气口：φ10mmN2进气、流量计控制/可调

升温方式：阶梯升温

降温功能：水冷+风冷

产品编号：20240328-07真空实验箱定做

产品商家：固安县双玉仪器设备有限公司

产品名称：真空实验箱体非标订制一件起订，欢迎新老客户咨询定制

产品介绍：实验箱体的参考配置，仅供参考：温度均匀性：≤±1.5%℃；

升温速度：0-8℃/min；

氧浓度：≤20ppm

工作尺寸：2-12寸晶圆及方片兼容，可尺寸定制

电源：AC380V/50HZ,

操作方式：人机界面+PLC，自动控制，程式运行

进气口：φ10mmN2进气、流量计控制/可调

升温方式：阶梯升温

降温功能：水冷+风冷

产品编号：20240328-07真空实验箱定做