臭氧可以用于除臭，杀菌，脱色，除锰、酚、铁、氰，除COD、BOD等，但是不容易氧化乙醇。臭氧的氧化电位为2.07V,在常温常压常态下可以分解为氧气。相比之下，氯，超氧化氢（HO2·）和二氧化氯（ClO2）的氧化电位仅有1.36V，1.28V和1.5V，臭氧可以氧化氯离子。

氧化能力强，对脱色、除臭、杀菌、去除有机物和无机物等效果，无二次污染，制备臭氧只用空气和电能，操作管理方便;臭氧发生器能氧化其它化学氧化，生物氧化不易处理的污染物，对除臭、脱色、杀菌、降解有机物和无机物都有显著效果;污水经处理后污水中剩余的臭氧易分解，不产生二次污染，且能增加水中的溶解氧; 制备臭氧利用空气或者氧气作原料，成本低廉，操作简便。处理过程一般不会产生污泥;处理后废水中的臭氧易分解，不会产生二次污染。对杀菌、脱色、除臭、去除有机物和无机物都有显著的效果。臭氧在废水处理中的应用发展很快，近年来，随着一般公共用水污染日益严重，要求进行深度处理，国际上再次出现了以臭氧作为氧化剂的趋势。臭氧氧化法在水处理中主要是使污染物氧化分解，用于降低BOD.COD，脱色，除臭、除味、杀菌、杀藻、除铁、锰、氰、酚等。

空气杀菌消毒：食品厂、学校、医院、车间、洁净区、更衣室、健身房、图书馆、养殖场等；水处理：生活饮用水、自来水、纯净水、地表水、二次供水、中水回用、食品厂生产用水、饮料厂、自来水厂;生活污水、医院污水、工业废水、含酚废水、纺织印染污水、屠宰废水、养殖污水、食品厂污水、制药废水、造纸废水等；废气处理：工业废水、垃圾场废气、恶臭气体、橡胶废气、喷涂废气等；烟气脱硫脱硝：工业工厂、砖厂、电热厂、火电厂等烟气脱硫脱硝