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堀场仪器(上海)有限公司
DIGI Series
Plasma Diagnosis Endpoint Monitor
This device allows high speed, high resolution spectrographic analysis by using a 2048CH CCD line sensor. The device offers simple and stable operation under a Windows 2000 environment and allows high precision end-point functions.
Spectrometer | Focal length: 140mm |
Diffraction grating | Ø70mm aberration correction flat field concave holographic |
Wavelength range | 200 to 800nm |
Resolution | < 2.0nm actual measurement (with a 50μ slit) |
Opening ratio | F/2 |
Minimum sampling rate | 25ms |
Detector element channel | 2048 channels |
Optical fiber | 3m |
Vacuum flange | Optional |
Dimensions | 220 (W) x 130 (H) x 400 (D) mm |
Mass | 11kg, 24.2lb |
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