特点

●利用1台浓度计可以监测4种(药液或量程)的多样监测。

●实时浓度监测。测量单元型产品适用于更高精度需求应用的浓度反馈控制。

●监测周期大约3秒，300mm工艺的浓度管理。

●通过*分离电气部分和测量部分以提高稳定性。

●轻便小巧的设计有利于节省清洗装置的空间。

●通过减少清洗工艺中的批次不良以提高产量。

主要特点

●利用1台浓度计可以监测4种(药液或量程)的多样监测。
1台浓度计中最多可存储4种校正系数(药液或量程)，可监测单槽或单晶圆等批次清洗方式的清洗装置1种以上药液(或者不同的药液配比)浓度。

●实时浓度监测。测量单元型产品适用于更高精度需求应用的浓度反馈控制。 通过使用可直接组装在清洗装置主配管中的在线检测单元，实现了实时的浓度监测。为了强调稳定性，也可使用检测单元装置型的浓度计，以进行反馈控制。可以保持在药液浓度值的允许范围内，同时也可以避免不必要的药液更换工作。

●监测周期大约3秒，300mm工艺的浓度管理。
以大约3秒这样短的测量周期实现了高速响应性。支持多槽、单槽・单晶圆方式清洗装置的精确浓度管理。

●通过*分离电气部分和测量部分以提高稳定性。
使用光纤传输光源信号确保了了浓度计和检测单元的*分离。由于可以把浓度计设置在药液气体以外，所以不需要担心腐蚀等现象。

●轻便小巧的设计有利于节省清洗装置的空间。
由于底面面积只有本公司原来产品的2/3左右，这种小巧化设计有利于清洗装置节省空间。可以很容易地组装到清洗装置中。除此以外，由于重量较轻，所以也可以设置在清洗装置的上面。

●通过减少清洗工艺中的批次不良以提高产量。
通过使用监测输出，进行各成分药液的补给控制，从而实现了高再现性的清洗。减少清洗工艺中的批次不良，从而有利于提高提高产量。