• 监测周期大约为3秒，支持300mm工艺的浓度管理

实现了以大约2秒为监测周期(*)的高速响应。支持向批次式和单槽式清洗装置定时反馈浓度信息。
*不包含药液的置换时间、冷却时间

• 小巧化设计有利于节省清洗装置的空间由于底面面积只有原来的2/3(*)左右，这种小巧化设计有利于清洗装置节省空间。可以很容易地组装到清洗装置中。

*和本公司产品CS-327系列进行比较

• 通过减少清洗工艺中的批次不良，提高产量

通过浓度计的信号输出，进行HF/HNO3溶液的补给控制，从而实现高再现性的清洗。减少清洗工艺中的批次不良，从而推进产量的全面提高。

• 全自动监测与简易控制

用户只需引入HF/HNO3溶液即可。监测是全自动方式，因此开始监测后不需要进行任何控制。另外，由于参照光谱测量时使用的是空气，所以不需要用水。

• 通过采取全面的气泡对策

在脱泡槽中分离气泡，在监测过程中进一步利用电磁阀把气泡混入监测单元内的发生次数抑制在限度。

• 采用DC24V，实现高安全性

电源采用DC24V低压电，提高了安全性以避免触电事故的发生。并且，由于内置漏水传感器，在发生漏水时可以切断HF/HNO3溶液的供应等，采取紧急措施。