mini型磁控溅射仪
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mini型磁控溅射仪KT-Z1650PVD，该设备集磁控溅射与离子镀膜技术为一体，对提高颜色一致性、沉积速率及化合物成份的稳定性提供了解决方案。设备具有外形美观、结构紧凑、占地面积小、自动化程度高、操作简单灵活、性能稳定、易维护等特点。设备可适用于不锈钢、水镀五金件/塑胶件、玻璃、陶瓷等材质；可制备单质金属层如钛、铬、银、铜或金属化合物膜层如TiN/TiCN/TiC/TiO2/TiAlN/CrN/ZrN/CrC等；可实现深黑色、炉内金、玫瑰金、仿金、锆金、宝石蓝、亮银色等颜色。
mini型磁控溅射仪KT-Z1650PVD厂家供应技术参数；
控制方式 | 7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 |
溅射电源 | 直流溅射电源 |
镀膜功能 | 0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
功率 | ≤1000W |
输出电压电流 | 电压≤1000V 电流≤1A |
真空 | 机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤5*10^-3Pa |
溅射真空 | ≤30Pa |
挡板类型 | 电控 |
真空腔室 | 石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm |
样品台 | 可旋转φ62 （可安装φ50基底） |
样品台转速 | 8转/分钟 |
样品溅射源调节距离 | 40-105mm |
真空测量 | 皮拉尼真空计（已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa） |
预留真空接口 | KF25抽气口 KF16放气口 6mm卡套进气口 |
