气敏测试真空探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本

      该气敏测试真空探针台的承片台X/Y/Z三个方向均可在真空环境下调节，其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－13mm；z方向调节范围：0－13mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。

1、测试腔、控温及加热系统

测试夹具要求：可实现XYZ移动；

测试腔：同时满足静态/动态测试，304不锈钢材质，可在紫外灯下保证气密性测试；

测试样品数：同时测试8个样品，可进行频率-阻抗测试、插指电极和场效应管测试；

测量温度：室温---300 ℃

控温精度：±1 ℃

显示精度：±0.1 ℃

测温传感器：PT100

升温斜率：1-10 ℃/min

通讯类型：RS485

加热功率：500 W

测试腔容积<2 L

     郑州科探仪器设备有限公司是集开发、制造、经营为一体的材料设备创新型企业，如今公司的产品已经遍布国内大多数国家重点实验室 及校，科探仪器已经成为老师 同学欢迎和信任的品牌之一。   公司以科技创新为主，服务社会为宗旨，积极设计开发新型材料制备设备，奉献于教育和科学，经过长期的研发和不断地技术积累，拥有热工，制造，控制相关技术10余项，为化学，物理，材料，电子，高分子工程，新材料制备和研发领域的科学研究提供了精良设备。公司通过和院校老师 同学强强联合，形成了有效的信息，技术交流平台，为科探仪器了解市场需求提供了强有力的支持！

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