3轴机械臂3轴圆柱坐标洁净晶圆搬运机械手臂-上海衡鹏企业发展有限公司手机版

详细介绍

3轴圆柱坐标洁净晶圆搬运机械手臂特点：

超洁净无尘间用300mm晶圆对应MCR3000C系列

适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆搬运

全轴采用AC伺服电机满足高速搬送的需求

比MHR系列具有更好的性价比优势

机械手臂标准臂长:160mm, 200mm

适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式

配备动作监视器

控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式

全轴采用值编码器规格的AC伺服电机

S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆

晶圆固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式

手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质

可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供的手指

3轴圆柱坐标洁净晶圆搬运机械手臂基本参数：

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