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产品型号：ATLEX-S
品牌名称：德国ATL Lasertechnik
ATLEX-S系列激光器是一款非常紧凑的紫外光源，设计用于低、中占空比的OEM应用。
产品特点：
· 超紧凑的尺寸
· 超快电晕预电离技术
· HV-固态脉冲发生器
· 激光腔体<3L
· 全新技术的金属陶瓷腔
· 集成真空泵和卤素过滤器
· 全部风冷，温度控制
· 系统集成RS485，RS232，USB和FOC接口
· 方便清洗的光学镜架
· 能量稳定模式
· 符合欧洲CE标准
· RoHS认证
产品应用：
· 光谱学
· 微加工
· 测试和测量
产品参数：
| ATLEX-S产品参数 | |||||
| 气体介质 | ArF | KrF | 单位 | ||
| 波长 | 193 | 248 | nm | ||
| 高压开关技术 | 固态开关 | 固态开关 | | ||
| 重复频率 | 300 | 500 | 300 | 500 | Hz |
| 脉冲能量1 | 10 | 10 | 15 | 15 | mJ |
| 平均功率 | 2,4 | 4 | 4 | 6 | W |
| 脉冲宽度2 | 5 – 8 | ns | |||
| 光束尺寸2(V x H) | 4 x 6 | mm | |||
| 光束发散角2(V x H) | 1 x 2 | mrad | |||
| 能量稳定性（标准偏差） | < 3 | % | |||
| 尺寸（长x宽x高） | 630 x 400 x 300 | mm | |||
| 重量 | 65 | kg | |||
| 冷却 | Air | | |||
| 电力需求 | 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz | | |||
所有规格均为典型数据，如有因产品改进而更改的，恕不另行通知。
1 在重复频率情况下测得： 应用能量稳定模式将会有10%的输出能量损失。
2 典型值，FWHM
