德国SIOS SP 5000 DI/F超稳定紧凑型光学差分激光干涉仪的简介：
超稳定、紧凑的SP 5000 DI/F 差分干涉仪专为必须长时间执行高度稳定的长度测量的应用而设计。紧凑的传感器设计即使在狭窄的空间内也能实现长期稳定的调整和放置，因此精密测量系统非常适合用作闭环控制回路的激光尺。应用需要一个外部参考点，通常放置在测量范围的中间，以实现最佳的测量值稳定性。干涉仪的基本原理基于 SP 5000 DI 系列，因此也可实现亚纳米范围内的长度分辨率。可以很容易地进行几米的测量，因此可以使用 SP 系列的反射器。
激光干涉仪以光波为载体，利用激光作为长度基准，是迄今的高精度、高灵敏度的测量仪器，在制造领域应用广泛。

德国SIOS SP 5000 DI/F超稳定紧凑型光学差分激光干涉仪的特点：
最高精度的差分长度或角度测量
通过差分测量将环境影响降至较低
热超稳定传感器设计，温度灵敏度 < 10 nm/K
可以使用各种光学反射器，例如球面、平面镜反射器
测量反射器的大倾斜不变性
紧凑而坚固的设计
标配不锈钢传感器头设计
光束距离：14 毫米
可以提供 OEM 版本、OEM 软件和真空版本
可用作具有可选接口的反馈系统
广泛的触发选项