又称低温等离子废气净化器，在电催化总的设计概念下，分三个即独立又混成的激发系统：微波激发区、等离子激发区、极板激发区。每个激发区有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。

等离子净化器设备：在高压电场作用下，产生大量的正、负氧离子，且具有氧化性。能在极短的时间内氧化、分解甲硫醇、氨、硫化氢、醚类等污染臭气分子，等离子废气净化器破坏挥发性气体的化学键，成二氧化碳和水等稳定氧化产物，从而达到净化空气的目的。同时由于反应堆内臭氧以及紫外线的作用，去除不同范畴的废气化合物，实地较为广谱的去除空间，高浓度废气去除率可达84%以上。

等离子废气净化器设备优点：占地面积小；等离子废气净化器处理效果好，等离子废气净化器可将恶臭物质分解；即开即用，不受气温影响，操作简单；反应过程中只需用电，不用投加其他辅助药剂和填料。

恶臭是指大气，水体、废弃物等物质中含有的、具有能够引起人体厌恶或不愉快气味的挥发性物质，通过空气介质，作用于人的嗅觉器官而被感知的一种嗅觉污染、恶臭是典型的公害之一。

等离子净化设备技术注意事项：

1、恶臭物质能否被裂解，取决于其化学键键能是否比所提供的UV光子的能量要低。

2、裂解反应的时间极短（＜0.01s），氧化反应（见反应④）的时间需2-3s。

3、提供的UV光子总功率不够或者含氧量不足，会因为裂解或氧化不全而生成一些中间副产物，从而影响净化效率。对于高浓度大分子的恶臭物质体现得较为明显。

4、UV光解净化的长期稳定，需要反应温度＜70℃，粉尘量＜100mg/m3，相对湿度＜99%。

5、条件满足的情况下，UV光解净化的净化效率较高。