高压质量流量控制器

HLD600CD,D300C高压质量流量控制器

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-01-09 14:02:52
323
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苏州华陆仪器仪表有限公司

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产品简介

质量流量控制器广泛应用于:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入,直拉式晶炉,精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业。

详细介绍

HLD600CD数字型质量流量控制器

质量流量计控制器(HLD600CD产品采用单电源供电(6~16VDC);一体显示,也可以直接连电脑显示;数字,模拟输入输出;具有多气体多量程,高精度,极低零漂,软起动功能及强大的免费客户端使用软件。

技术参数:

1、两种输入方式:
1、1模拟输入:外部 0~5VDC或4~20mA;
可选内部物理量(0~5VDC或4~20mA状态下的%满量程)输入
1、2数字输入:PC上位机软件设定(RS232或者RS485)
2、两种输出方式:
2、1模拟输出:0~5VDC或4~20mA;
2、2数字输出:通过RS232或者RS485输出到PC机

主要指标:
流量规格(N2): (0~510203050100200300500 )SCCM;(0~1235102030 SLM
准确度: ±1%F.S.
线性: ±0.5%F.S.
重复精度: ±0.2%F.S.
响应时间: ≤1Sec
工作压差范围: (0.05~0.3)MPa
*大耐压: 10Mpa
工作环境温度: 5~65℃
电气连接: 8 针(小型圆插头)
输入/输出信号 DigitalRS232/RS485 Analog:(0~5) VDC or (4 ~20)mA
电源: 6~16VDC 1A
标准接头: Swagelokφ6Swagelok 1/4″VCR1/4″


HL
D300C数字型质量流量控制器

HLD300C 产品采用单电源供电(6~16VDC);数字,模拟输入输出;可以直接连电脑显示,也可以连二次仪表显示;具有多气体多量程,高精度,极低零漂,软起动功能及强大的免费客户端使用软件。

技术参数:

1、两种输入方式:
11 模拟输入 :外部 0~5VDC4~20 mA
12 数字输入: PC上位机软件设定(RS232 或者RS485
2、两种输出方式:
21 模拟输出 0~5VDC4~20 mA
22 数字输出:通过 RS232 或者RS485 输出到PC

主要指标:
流量规格(N2): (0~510203050100200300500 )SCCM;(0~1235102030 SLM
准确度: ±1%F.S.
线性: ±0.5%F.S.
重复精度: ±0.2%F.S.
响应时间: ≤1Sec
工作压差范围: (0.05~0.3)MPa
*大耐压: 10Mpa
工作环境温度: 5~65℃
电气连接: 8 针(小型圆插头)
输入/输出信号 DigitalRS232/RS485 Analog:(0~5) VDC or (4 ~20)mA
电源: 6~16VDC 1A
标准接头: Swagelokφ6Swagelok 1/4″VCR1/4″

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