测量显微镜广泛应用于半导体,电子工业进行晶体,集成电路的检验和精确测量.配备有冷光源光纤反射照明,成象和观察系统,偏光装置.

Measurement microscope is widely used for crystal, integrated circuit(IC) examination and exact measurement.It is supplied with Cold light fiber reflected illuminator , imaging and viewing system, polarized imaging system.

规格 Specifications

光学成象系统 Optical Imaging System

-----无限远光学系统,管镜焦距200mm

Infinitive Optical systam, Tube Lens Focal Length 200mm

-----铰链式三目镜筒,30°倾斜, 瞳距55-75mm

Compensation Free Trinocular Tube, Inclined at 30°, Interpupillary Distance 55-75mm

-----高眼点,大视场目镜WF10X/22

High Point and Wide Field Eyepiece WF10/22

-----长工作距离,平场复消色差物镜2X/0.055, 5X/0.14, 10X/0.28, 20X/0.29, 50X/0.42

Long Working Distance, Plan Apo Objectives 2X/0.055, 5X/0.14, 10X/0.28, 20X/0.29, 50X/0.42

------五孔物镜转换器

Quintuple Nosepiece

调焦系统 Focus Adjustment System

-----同轴粗微调焦机构,微动格值0.002mm

Coaxial Coarse & Fin Focus Adjustment System, Fine Division 0.002mm

载物台 Stage

------ 6″x8″双层活动平台,移动行程153x204mm

6″x8″Double Layers Mechanical Stage, Move Range 153x204mm.

三维测量系统 Three-dimensional Measurement System

-------分辨率: 1μm

Resolution: 1μm

-------测量精度: ±(2+L/200)μm

Measurement Exactitude: ±(2+L/200)μm

------重复定位精度: 2μm

Repeatedly Orientation Exactitude: 2μm

照明系统 Illumination System

-------冷光源光纤反射照明器:150W

Dold Light Fiber Reflected Illnminator: 150W

完善和全面的测量软件

-------完整的几何量测(如:点,线,圆,弧,角度等)

Complete Geometric Measurement(Point,Line,Circle, Arc etc.)

--------坐标系的设定,摆正,旋转

Enactment, Adjustment of Reference Frame

--------显示方式多样化;语言的转换,公英制单位的转换,角度的转换

Diversity of Display: Conversion of Language, Measure and Angle

软件介绍

完整的几何量测（如：点、线、园、弧、角度等）。
坐标系的设定，摆正、旋转。
逆向工程功能以及与Auto CAD的同步操作使用以及与CAM的连接。
测量精准度的校正和补偿。
针对重复工件的量测有记忆、学习、自动编程的功能；快速准确的现场实时测量。
显示方式多样化：语言的切换（中文简体和繁体；英文等）；公英制单位的切换
（mm/inch）；角度的转换（度、度／分／妙）；显示数字的小数点可自设；各种线的颜色可自设
标注随意化：可依据不同的语言、颜色、格式在图形的任何位置进行标注。
个性化的编辑：有复制、粘贴、删除、剪切、延伸以及UNDO/REDO。

运行桌面上的软件的快捷方式，进入软件界面，如下图：

A．菜单栏

B．常用快捷键

C．影像测量区

D．自动测量编程区 注意：仅适用于自动系列

E．影像工具和绘图工具面板

F．状态显示区

G．运动控制区 注意：仅适用于自动系列

H．制式工具面板

I．光栅数据区

J．图元数据区

K．全览图工具面板

L．全览图

手动／电动平台 可选标准行程：
6"×8"（153×204mm）
分辨率：1μm
测量精度：±（2＋L200）μm
重复定位精度：2μm
被测物容许重量： 13Kg

光栅线位移传感器 分辨率：1μm
输出幅值：5V，相对角差90°的两路方波信号（TTL）
准确度（20℃）：±(5＋5L／1000)μm（L：传感器有效量程）
速度：50m/minute
XYZ CNC全自动三维测量系统

精准测控―――精密准确的影像测量CNC自动控制系统

§全面的测量工具例举

1、 完整的几何量测（如：点、线、圆、弧、角度等）；

2、 坐标系的设定，摆正、旋转；

3、 逆向工程功能,以及与AUTOCAD的同步操作使用；

传送到AUTOCAD

4、 测量精准度的校正和补偿；

5、灵活的切换功能，语言的切换（中文简体和繁体；英文等）；公英制单位的切换（mm/inch）角度的转换（度、度/分/秒）；显示数字的小数点可自设；各种线的色彩可自设…

6、灵活的标注：可依据不同的语言、色彩、格式在图形的任何位置进行标注；

个性化编辑：有复制、粘贴、删除、剪切、延伸、UNDO/REDO等功能。针对重复工件的量测有记忆、学习、自动编程的功能；

§高分辨率影像观察及储存功能

电脑直接截取影像测量仪器之影像并放大显示，还配有再次放大视窗，操作人员可以方便快捷的对工件进行准确的量测,并可同时获得量测数据，并可将影像直接存盘bmp、jpeg...等格式 ,这样可以通过邮件的传输直接与客户交流。

§精准的自动寻边功能

依据『灰阶感应设计』的原理，提供十字线之线条色彩、粗细、感应度、受感应区域之动态设定，使自动寻边更为精确；从而大幅度减少了人为取点所产生的误差，大大提高了测量之准确度。

§快速的影像公差比对功能

可根据规格标准自设尺寸和设定相关参数，制定合格与不合格之区间，系统则可自动快速的判断出工件是否合格。

§自动对焦功能

提供影像自动对焦功能，当系统启动后系统会自动寻找最清晰影像。

§精准的自动取点功能

神经算法设计影像自动判读功能，解决了人工逐一选点繁琐，只需框选区域，软件将自动取点输入，直接量测。

◆取点依点、线、圆、弧、方形、不规则形状，可选择适当工具钮。
◆输入点数可选择1～999点，增加准确度。
◆毛边去除功能：可去除离散不正常之点边，避免了应为取多点而误判毛边的可能。
◆影像增强功能：影像清晰度可依据灰阶设定调整至满意程度。

§各种报表的输出及同步与CAD的功能

任何量测结果、图形、影像、统计分析、SPC数据皆可汇出Microsoft Word、Excel，并加注公司抬头及背景资料。且可与CAD同步，动态传输，无需通过转档的方式。

§SPC统计功能

1.拥有SPC统计分析功能及开放式数据库，方便品保或其他部门直接获取数据及报表。

2.自动认识的量测数据,并计算其值、最小值、平均值、标准差、 Ca 、 Cp 、 Cpk …的运算,且可应用于生产线实时量测判断。

3.在量测数据输入时,各式图表( 如 : X-R、X-S、X-Rm...),立刻同步显示分析,遇到品质出现问题时，系统会自动以颜色或声音给操作人员以警示，利于检测人员或线上人员立即掌握品质现况。

Z轴：手动Z轴（不带测量功能）
调焦范围：290mm
Z轴带量测范围：4"（101mm）
分辨率：1μm
测量精度：10μm
底座尺寸（长）×（宽）×（高）：610×450×65mm
平面度：0.05mm