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赛默飞 EscaLab 250Xi X射线光电子能谱仪是一台多功能高性能的表面分析仪器,它可以用于研究各种固体材料样品表面(1-10nm厚度)的元素种类、化学价态以及相对含量。结合离子刻蚀技术还可以获得元素及化学态深度分布信息;通过成像技术可以获得元素及化学态的面分布信息;利用微聚焦X射线源或电子束可以获得微区表面信息。在金属、玻璃、高分子、半导体、纳米材料、生物材料以及催化等领域有广泛应用。赛默飞 EscaLab 250Xi X射线光电子能谱仪以X射线光电子能谱为主要功能,还带有俄歇电子能谱、紫外光电子能谱、反射电子能量损失谱及离子散射谱等附件功能。
主要功能特点如下:
1. 常规XPS,鉴别样品表面的元素种类、化学价态以及相对含量。双阳极XPS,更适合用于不同的特殊过渡金属元素的研究,如催化领域。
2. 微区XPS分析(单色化XPS),用于样品微区(>20μm)表面成分分析,高能量分辨的化学态分析
3. 深度剖析XPS,结合离子刻蚀技术对样品(如薄膜等)进行成分深度分布分析。通过角分辨XPS还可以进行非损伤成分深度分布分析。
4. XPS成像,可以对元素或化学态进行表面面分布分析,使一些分析结果更直观。
5. 反射电子能量损失谱REELS技术,可实现氢元素的检测。
6. 离子能量损失谱ISS,可实现样品表面元素信息的检测
7. 场发射俄歇AES,可实现样品表面100nm尺寸下的元素信息检测。可以进行成分分析、形貌像分析及扫描俄歇像分析等。
8. 紫外光电子能谱(UPS),可以获得样品价带谱信息,对导体、半导体的能带、带隙等分析提供主要数据。还可以分析样品逸出功等。