多槽自动硅片超声波清洗机

☆频率功率：40HZ 192000W

☆加热功率：100KW

☆总功率：121KW

☆承重：50KG

1. 设备名称：全自动硅片清洗机

2. 概述：

自动硅片清洗机生产主线依次为：进料槽、超声波清洗槽、超声波洗剂脱脂槽、RO水超声波漂洗槽、超声波洗剂脱脂槽、超声波洗剂脱脂槽、RO水超声波漂洗槽、RO水超声波漂洗槽、RO水超声波漂洗槽共8个工位，其工作原理是利用超声波渗透力强的机械振动冲击硅片表面并结合清洗剂的化学去污作用达到对硅片表面附着的碳化硅、硅粉、金属粉末、油污、悬浮液等杂质的清除，从而获得表面洁净的硅片。本设备电气控制部分关键件均采用进口优质件，性能可靠，使用寿命长，单臂小车运行平稳，动作迅速、可靠。

3. 设备技术参数

3-1、设备输入参数：

   3-1-1、清洗零件名称、材料：太阳能硅片

  3-1-2、零件规格： 125×125mm，156×156mm

   3-1-3、清洗前状态：含油污、杂质等

   3-1-4、生产能力： 200片/框，≥1500万片/年

   3-1-5、单框装载量：8只花篮/框(6″或8″花篮）

   3-1-6、清洗节拍：5min/框(可调)

  3-1-7、清洁、干燥要求：目测无明显污染物，表面无有机物和颗粒，无花片，迹

   3-1-8、连续工作时间：24小时

   3-1-9、上、下料方式：手动上下料

   3-1-10、清洗物流方向：左进右出 和右进左出两种形式，各三台

   3-1-11、清洗合格率：≥99.8％

3-2、设备使用条件：

3-2-1、电源：380V±5%，频率50Hz，三相五线制

3-2-2、总功率：约121KW

3-2-3、水源： 1＂市水进水，2＂纯水进水，用量约1.5吨（每小时）

3-2-4、气源：1/2＂压缩空气进口，压力约0.5Mpa,用量6m3/h

3-2-5、温度和湿度：环境温度：-5～50℃，相对湿度：≤80%

3-2-6、管路：全不锈钢管路，进、排液为不锈钢球阀；2个2〃排污，1个2〃主进水口，1个1〃市水进水口，

3-2-7、噪声：≤80dB

4. 工艺流程

4-1，清洗流程：上料（浸泡）→超声清洗（摆动+加热+鼓泡）→超声洗剂脱脂（摆动+加热+鼓泡）→RO水超声波漂洗（摆动+加热）→超声波洗剂脱脂（摆动+加热）→超声波洗剂脱脂（摆动+加热）→RO水超声波漂洗（摆动+加热）→RO水超声波漂洗（摆动+加热）→RO水超声波漂洗（摆动+加热）→下料

4-2，工艺配置表