FHV通风柜
半导体产业蚀刻清洗专用的聚氯乙烯制通风柜。
半导体产业的蚀刻清洗专用通风柜。 由于全部采用聚氯乙烯材料制造,具有的抗强酸、碱等的耐腐蚀性。
可以在通风柜下台装入恒温水循环装置进行使用。
内、外装都是使用的硬质聚氯乙烯,.适合使用酸、碱等的蚀刻清洗。
通过采用阻流板可以很好的排出比重较大的气体。
共通规格
内外装 | 硬质聚氯乙烯材料 5mm厚 |
操作台面(选定) | 硬质聚氯乙烯材料 5mm厚 |
门 | 透明聚氯乙烯材料 5mm厚 |
水栓 | 120型:2个(自来水、纯水用各1个) 150/180型:4个(自来水、纯水用各2个) |
插座 | AC220V 10A,2个 |
荧光灯 | 120/150型30W、180型40W各一个 |
规格
型号 | FHV-120 | FHV-150 | FHV-180 | |
外形尺寸 | 深*高 | 750*1850mm | ||
宽 | 1200mm | 1500mm | 1800mm | |
重量 | 约200kg | 约230kg | 约250kg | |
排气风量 | 10m3/min | 13m3/min | 15m3/min | |
机内静压(推荐值) | 50Pa(5mmH2O) | 59Pa(6mmH2O) | 40Pa(4mmH2O) |
机型一览表
无排风机 | FHV-120 | FHV-150 | FHV-180 |
有排风机 | FHV-120B | FHV-150B | FHV-180B |
陶瓷钢板(K) | FHV-120K | FHV-150K | FHV-180K |