产品特点：

² 移动桥式结构，测量工件固定不动；
² 四轴CNC全自动闭环控制，全自动测量；
² 高精度南非大理石基座和横梁，稳定可靠；
² 高精密开放式光栅尺，分辨率0.1微米，精度高，稳定性好；
² P级直线导轨、研磨级滚珠螺杆和交流伺服电机，确保机台运动系统定位精度的稳定性；
² 高稳定性高清彩色工业相机，满足清晰观察和稳定测量的需求；
² 6.5X连续自动变倍镜头，准确自动变倍，一次像素校正即可；
² 程控式5环8区LED表面光源、透射平行LED轮廓光源系统，智能实现256级亮度调节；
² 标配iMeasuring4.1全自动影像测量软件，功能强大，简单易用；
² 量测工件无需调节摆正，软件提供坐标平移、旋转、摆正。直接在影像及几何区标注/移动尺寸。直线修剪、延伸、倒角功能。自主研发的全自动变倍远心镜头，高精度伺服变倍系统令测量真正全自动化，不需要在每次变倍后重新校正放大倍率，大大提高测量效率。
² 几何区点、线、圆/圆弧及直线端点、中点，圆心、象限点自动捕捉。调节CCD参数设定，提高自适应力；去除毛边功能，以正确取得量测数据。利用影像工具快速自动抓取基本几何轮廓边界点，直接拟合成线、圆、弧。量测区工件放大摄像图形化输出，转成(.bmp、.jpg)。测量数据化输出，转成WORD (.doc) 、EXCEL (.xls)。 SPC功能，直接输出管制图、制程能力指数，转成WORD、EXCEL 机械图形直接输出.dxf格式，实现2D抄数功能 ，与AutoCAD、Pro/e等其它软件无缝联接。可转入.DXF格式文件，与工件实物或测量图形进行比对。并可直接在影像区任取两点得到误差测量值。 提供平面内直线度、圆度、角度分析，进行有效之品质检验机台精度补偿，提高量测精度。测量软件界面由我公司与Sinowon公司合作翻译的全中文界面，方便中国大陆使用者
² 主要应用于，科研，汽车配件:电池新能源，太阳能电池片 ，电子电脑行业，芯片PCB，机器人，薄壁工件,橡胶件,塑料件,易变形工件,接插件,冲压件,微小齿轮,照明，电路模具等并具有盲孔测量 ,批量编程，划痕等细微轮廓的全自动三维测量
² 可选配接触式探针，激光测头等配置，也可根据要求进行客户定制化设计；
² 可选FexQMS测量数据分析及和实时监控软件，提升制程控制、降低物料耗损。

技术参数:

产品名称		高精度全自动三坐标测量仪
型号		ESNANO-3020M		ESNANO-542M		ESNANO-652M
货号#		520-121		520-131		520-141
X-Y轴行程（mm）		400x300mm		500x400mm		600x500mm
Z轴行程（mm）		200mm
X/Y/Z3轴光栅尺（mm）		开放式光栅尺，分辨率：0.0001mm
导向方式		高精密直线导轨，双轨双滑块导向
操作方式		遥控手柄，鼠标操作，编程自动检测
测量精度*		XY轴：≤1.8+L/200(um)
		Z轴：≤3+L/200(um)
重复性		2um
视频系统**		1/2"彩色CCD相机
		6.5X自动变倍镜头
		光学放大倍数：0.7X-4.5X，视频放大倍率：20X~129X（21”显示器）
视野大小(mm) （对角*水平*垂直）	镜头倍率	0.7x	1x	2.0x	3.0x		4x	4.5x
	1/2"CCD	11.43x9.14x6.86	8.00x6.40x4.80	4.00x3.20x2.40	2.67x2.13x1.60		2.00x1.60x1.20	1.78x1.42x1.07
光源	轮廓光	LED平行轮廓光源
	表面光	5环8区0~255级连续可调
软件系统		标配iMeasuring 4.1全自动影像测量软件
机台承载		30Kg		30Kg		30Kg
工作环境		温度20℃±5℃，温度变化<3℃/hr,湿度30~80%,振动<0.002g,低于15Hz
电源		220V/50Hz/10A
外形尺寸		1060*820*1680mm		1300*950*1680mm		1600*1050*1680mm
重量		650Kg		780Kg		1380Kg

* L表示测量长度，以毫米为单位，Z轴的机械精度，聚焦精度与工件表面有很大的关系。
**放大倍率为近似值，具体与显示器的尺寸和分辨率相关。
  客户可根据需求选配附加镜0.5X或者2X，实现影像放大倍率：10X~64.5X或者40X~300X.

仪器特点

的精密技术，机身主体采用高精密天然花岗岩，具有稳定的温度特性和抗时效变形能力，高精密导轨保证测量的稳定性及长期使用的刚性。
高性能，超低畸变，保证测量的精确度；精密多段定倍变焦，可先期储存入各段倍率的放大系数，使用时随时调出，不需再次校正，节约辅助时间，提高测量效率。探针三维测量系统配置英国雷尼绍Renishaw（MCP系统）测量工件三维轮廓尺寸
三轴均采用PTB可靠性的伺服马达系统，所有运动控制均由专用的高速64bitDSP运动控制器进行，确保可靠性的高速测量。
三轴均采用高精度研磨级丝杆，使机台运动更精确、快速、顺畅，噪音大幅度降低。
三轴均采用感应式限位开关，提高使用寿命及限位准确度与灵敏度。
机器预留有供以后升级的探针准备系统：光栅数显，数据接口，支架附件等。  
方便用户随时升级，不需改装，简单快捷。