尼康工具显微镜MM-800

MM-400/800系列结合了测量显微镜的关键性能特点：

更精确

数字成像和视觉处理计量学

更大的舞台，增加样品处理

非接触Z高度测量

与数据处理系统DP-E1A的协调

10个可用于不同应用的主体

对于大行程阶段（值为300mm x 200mm x 200mm）

MM-800/LM：电动Z轴

MM-800/L：内置Z线性刻度

MM-800：双轴测量模型

MM-800/S：用于第三方DRO

MM-800/SL：用于内置Z线性刻度的第三方DRO

对于较小冲程阶段（，150mm x 100mm x 150mm）

MM-400/LM：电动Z轴

MM-400/L：内置Z线性刻度

MM-400：双轴测量模型

MM-400/S：用于第三方DRO

MM-400/SL：用于内置Z线性刻度的第三方DRO

尼康工具显微镜MM-800特征

300mm x 200mm载物台

增加的机身强度允许使用更大的工作台，例如PS12x8C工作台，从而允许使用更大的工件。

 MM控制器背包接口

照明、X/Y阶段和Z数据可以连接到MM控制器，作为运行E-Max软件的外部计算机的接口，用于数据处理和系统控制。

全白色LED照明器

高强度白色LED照明器是brightfield的标准配置。该光源无需更换灯泡，色温恒定，测量精度高，效率高。

聚焦援助（FA）

提供锐利的图案，在Z轴测量期间实现精确聚焦。由于不同目标的聚焦深度不同而产生的测量误差被最小化。

应用

半导体封装、键合放置、回路高度、FPD面板（LCM）MEMS、晶圆级CSP、HDD滑块

FPC的金属化图案                FFD-单元工艺                     CCD                                   彩色滤片

明场                                     暗场                                  明场                                    反射荧光

DIC