FILM SENSE椭偏仪 FILM SENSE
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上海百贺仪器科技有限公司
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椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于测量精度高,适用于超薄薄膜测量,
与样品非接触,对样品没有破坏且不需要真宽,使得椭偏仪成为一种吸引力的测量仪器。 椭偏仪是测量比率,所以它对光束强度的变化或样品的缺陷引起散射光不敏感。椭偏仪在每个波长测量2个量(Ψ and Δ),
可以确定2个定量比如薄膜厚度,以及光学常数或基底的折射系数和消光系数。椭偏仪对薄膜Δ参数相位差极其敏感,能够准确的测量薄膜厚度低至0 Å。
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