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BF 明视场 使用的观察方法。在观察中真实再 现样品的颜色。适用于观察有明暗对比 的样品。 | DIC 微分干涉 对于在明视场观察中看不到的样品的微小高低差, 添加明暗对比使之变为立体可视。适用于观察金 相组织、硬盘和晶圆抛光表面之类镜面上的伤痕 或异物等。 |
简易偏振光 照射偏振光(有着特定振动方向的光线), 使样品的偏光性变为肉眼可视。适用于观 察金相组织、矿物、半导体材料等。 | HDR 高动态范围 使用不同曝光时间拍摄多张影像并进行影像合成, 可以观察平衡度较好的明亮部分和阴暗部分。此 外,还可以强调纹理(表面状态),进行更精细的 观察。 |
主机 规格 | ||||
LSM部分 | 光源、检出系统 | 光源:405 nm半导体激光、检出系统:光电倍增管 | ||
总倍率 | 108~17,280X | |||
变焦 | 光学变焦:1~8X | |||
测量 | 平面测量 | 重复性 | 100x : 3σn-1=0.02μm、50x:3σn-1=0.04μm、20x:3σn-1=0.1μm | |
正确性 | 测量值的±2%以内 | |||
高度测量 | 方式 | 物镜转换器上下驱动方式 | ||
行程 | 10mm | |||
内置比例尺 | 0.8nm | |||
移动分辨率 | 10nm | |||
显示分辨率 | 1nm | |||
重复性 | 100x :σn-1= 0.012μm、50x:σn-1=0.012μm、20x:σn-1=0.04μm | |||
正确性 | 0.2+L/100 μm以下(L=测量长度) | |||
彩色观察部分 | 光源、检出系统 | 光源:白色LED、检出系统:1/1.8英寸200万像素单片CCD | ||
变焦 | 码变焦:1~8X | |||
物镜转换器 | 6孔电动物镜转换器 | |||
微分干涉单元 | 微分干涉滑片:U-DICR、内置偏振光片单元 | |||
物镜 | 明视场平面半消色差透镜5X LEXT专用平面复消色差透镜20X、50X、100X | |||
Z对焦部分行程 | 76 mm | |||
XY载物台 | 100 x 100 mm(电动载物台) | |||
SPM部分 | 运行模式 | 接触模式、动态模式、相位模式、电流模式*、表面电位模式(KFM)*、磁力模式(MFM)* | ||
位移检出系统 | 光杠杆法 | |||
光源 | 659 nm半导体激光 | |||
检出设备 | 光电检测器 | |||
扫描范围 | X-Y: 30 μm x 30 μm、Z: 4.6 μm | |||
安装微悬臂 | 在盒式微悬臂支架上一键安装。使用微悬臂安装位置调整专用工装夹具预对位,更换支架时无需光学调整。 | |||
系统 | 总重量 | 约440 kg(不包含电脑桌) | ||
I额定输入 | 100-120 V/220-240 V、600 VA、50/60 Hz |
*该功能为选项功能。
物镜 规格 | ||||
型号 | 倍率 | 视场 | 工作距离(W.D.) | 数值孔径(N.A.) |
MPLFLN5X | 108-864X | 2,560-320μm | 20.0mm | 0.15 |
MPLAPON20XLEXT | 432-3,456X | 640-80μm | 1.0mm | 0.60 |
MPLAPON50XLEXT | 1,080-8,640X | 256-32μm | 0.35mm | 0.95 |
MPLAPON100XLEXT | 2,160-17,280X | 128-16μm | 0.35mm | 0.95 |
微悬臂 规格 | |||||||||
用途 | 型号 | 类型 | 探针数量 | 微悬臂 | 探针 | 材质 | 金属膜 涂层 | ||
共振频率 (kHz) | 弹簧常数 (N/m) | 高度 (μm) | 前端半径 (nm) | 探针/ 微悬臂 | 探针涂层/ 反射涂层 | ||||
动态模式/ 相位模式 | OMCL-AC160TS-C3 | 标准硅胶 | 24 | 300 | 26 | 14 | 7 | Si / Si | 无 / Al |
OMCL-AC160BN-A2 | 高纵横比硅胶 | 12 | 300 | 42 | 9 | 8 | Si / Si | 无/无 | |
OMCL-AC240TS-C3 | 低弹簧常数硅胶 | 24 | 70 | 2 | 14 | 7 | Si / Si | 无/Al | |
接触模式 | OMCL-TR800PSA-1 | 标准氮化硅 | 34 | 73 / 24 | 0.57 / 0.15 | 2.9 | 15 | SiN / SiN | 无/Au |
表面电位模式 | OMCL-AC240TM-B3 | 电气测量专用硅胶 | 18 | 70 | 2 | 14 | 15 | Si / Si | Pt/Al |
• 微悬臂、探针的机械特性及尺寸均为代表值。
• 微悬臂非常小,请注意不要伤到眼睛或不小心吞咽。
• 电流模式、磁力模式中使用的微悬臂的详细信息,请咨询经销商。
• 除上表以外,还有其他规格的微悬臂。经销商。