XYZ真空位移台是为真空环境下三维位移和三维定位设计的三轴真空位移台,采用微米驱动螺钉实现高灵敏度,在XYZ轴的移动范围是15mm,具有非真空XYZ位移台供选择。
XYZ真空位移台配置
公制7T38V XYZ真空位移台配置:7T38V-3件, 2AB38V-1 件, 3P38V, 3CP38V, 3BP38V.
英制7T38EV XYZ真空位移台台配置:7T38EV-3 件, 2AB38V-1件, 3P38EV, 3CP38V, 3BP38V.
XYZ真空位移台规格
移动范围 15mm
灵敏度 1µM
跟踪精度 2µM
刻度步进 10µm
负载能力 5kg
重量 1.35kg
