Automegasamdri-915B, Series C 临界点干燥仪

特点：

• 6”圆晶MEMS释放后的立式超临界点干燥仪；

• 内部高效隔热的冷却循环系统，使系统能够迅速从室温降到将近0°C；

• Post-Purge 过滤器容易更换及维护；

• 内置SOTERTM冷凝器，分离废弃乙醇和废气二氧化碳。

• 的样品室填块可以调整样品室内径到4"、3”,2”,1.25”,使LCO2的使用效率和处理时间达到;

• 可以一次干燥5片直径为6”的圆晶，更换样品架，也可以一次干燥5片直径4”、3”、2”的圆晶或5片边长为10mm的方晶（提供HF兼容的样品架）；

• 内腔有照明灯，样品室盖子带观察窗，便于观察样品室内部状态；

• 通过微处理控制器来保证自动处理过程的进行及结果的可重复性；

• 所有内表面均适用于液态二氧化碳、高纯乙醇和丙酮；

• 可重复设定的操作参数确保了结果的可重复性；

• 集成自动控温；

• 内置圆盘裂片保证安全；

• 静态压力控制模块，自动控制系统压力和保持压力稳定性；

• 0.4μm内部过滤器系统输送清洁的过滤后的LCO2到样品室；

• 每个操作模式LED显示，一目了然;

• 洁净室和防静电兼容设计；

• 所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准；

规格：

• 外部尺寸：宽19.8” (50.3 cm) × 深31.7” (80.6 cm) × 高44.5” (113.0cm)；

• 安装占地尺寸：宽27” (68.6 cm) × 深38” (96.5 cm)；

• 样品室尺寸：内径6.50” × 深1.25”，样品室容积：679 ml;

• 温度范围：- 30 ℃ 至 60 ℃，压力范围：0 - 2000 psi；

• LCO2的流速是通过带游标卡尺的微型微型计量阀门来控制；

• 120V/50-60HZ(可选其他电压)；

标准配件：

• 高压不锈钢LCO2管（内衬Teflon） 3 米长；

• 外部LCO2过滤装置，去除水/油以及颗粒（小至0.5μm），过滤装置可预先与LCO2管连接，安装方便；

• 安装工具；

• 防静电排气管，用于PURGE/VENT/BLEED和COOL时的排气；

• 内部的不锈钢过滤系统和镀镍的过滤系统共同保护线路、晶片和阀门

• 样品室O型圈3个，样品室照明灯2个，3A和8A保险丝各2个；

• 4个Teflon样品室填块,使得样品室直径包括6、4、3、2和1.25英寸;

• 直径为6、4、3、2英寸圆晶的样品架和边长为10 mm方晶样品架,样品架HF兼容；

• 流量计，可精确控制BLEED的排气速率；

• 用户手册；

• 所有部件一年质保。