10251331916-超高精度激光干涉仪-长春海洋光电有限公司手机版

详细介绍

D7型λ/1000超高精度激光干涉仪，设计紧凑、用户界面友好，0.6nm的测量精度。非常好地测量高精密光学系统、复杂的表面形状、大尺寸非球面偏差；揭示起源于制造技术的面形特征和缺陷。这对于建造精密的卫星相机、高分辨望远镜、强大的微芯片，乃至超快计算机都是的重要手段。

主要特点：

• D7型激光干涉仪提供0.6nm的测试准确度和的重复性(世界纪录)

• RMS重复性：< 0.06 nm (λ/10500)

• 检测球面、平面、非球面及自由形体

• 测量光学系统的透射波阵面

• 曲率半径测量

• 数据获取：相移干涉测量法(PSI)

• 尺寸：490mm x 300mm x 260mm

• D7型激光干涉仪：紧凑、可靠、使用方便

• 测试过程简便，只需三个步骤：

1. 把待测的光学系统或部件放在支架上

2. 用软件界面准直调整测试部件

3. 调整干涉条纹并按动测量按钮即可进行测量

优点：

优点	好处
理想参考：由于采用物理参考，因而没有传输误差	1. 省时：因为无需改变大量参考 2. 节省成本：因为无需购买昂贵的参考装置
比标准性能传输的菲索球面干涉仪有超过100倍更高的精度	节省时间和成本：因为不需要中间仪器和附加的方法来提高精度
D7型激光干涉仪比其它激光干涉仪可检验更多的表面特征	由于在安装和光学系统上市之前更好地揭示了制造误差，从而节省了成本
稳定性和坚固性	1. 省时：因为的重复性提供准确的测试数据，无需反复地证明测试结果 2. 节省成本：因为D7型激光干涉仪不需要特殊的(工作)环境条件
应用范围宽	节省时间和成本：由于紧凑和简单的设置，可在实验室或工厂（现场）垂直和水平方向使用D7型激光干涉仪
没有可追溯的误差	由于在测量非球面和自由形体时简化的设置，从而节省时间和成本

主要技术参数：

*接受定制解决方案

D7型激光干涉仪的应用：

I. 波前质量

• 投影镜头

• 望远镜

• 显微镜

• 光学镜头

II.表面光学质量

• 球面

• 平面

• 角隅稜鏡

• 非球面

• 自由形体

• 参考光学系统

III.曲率半径

• 把长距离传感器与D7激光干涉仪提供的聚焦精度相结合，可获得ppm RoC精度

IV. 成像质量

• 在部署之前验证你的光学系统的分辨能力