MFI 在线式-MEMS质量式气体流量计 / 质量流量计 / 热质式流量计 / 热质式质量流量计
MFI系列 在线式(in-line)气体流量计，插入式安装，专为大管线(≥150mm)的气体监测控制而设计，

配有自密式阀门，可以在最轻微干扰的情况下解决气体测量的有效方案。可应用于生产过程中的气体测控

【测量类型】
氧气、氮气、氦气、氢气、氩气、压缩气体、甲烷、液化石油气、天然气、二氧化碳...等

【应用环境】
工业制造业的用气测量及程控、
环保领域、食品加工、科学气体分析仪器、楼宇自控、保健设备...等

【何谓MEMS(Micro-electromchanical System)？】
MEMS是将微电子技术与机械工程融合的一种工业技术；而MF系列气体流量计采用MEMS芯片及的封装技术，
相较于传统的热式质量流量计，MEMS质量流量计，体积更轻巧、压力损失小、低功耗、响应速度快、测量结果更精确可靠

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