扫描电子金属显微镜 FlexSEM 1000详细介绍

紧凑型设计，分辨率为4 nm*1

通过高灵敏度二次电子探测器，背散射探测器，低真空探测器（UVD*2），实现低加速电压/低真空下高质量图像观察

操作简捷，即使新手也能拍出高质量的图片

新开发的导航功能「SEM MAP」，便于快速锁定视野

大窗口（30 mm2）SDD能谱系统，便于快速分析元素成分*2

​扫描电子金属显微镜 FlexSEM 1000技术规格

项目 内容

分解能*3 4.0 nm @ 20 kV （SE：高真空模式）

15.0 nm @ 1 kV （SE：高真空模式）

5.0 nm @ 20 kV （BSE：低真空模式）

加速电压 0.3 kV ～ 20 kV

放大倍率 6× ～ 300,000× （底片倍率）

16× ～ 800,000× （显示倍率）

低真空模式 真空范围：6 ～ 100 Pa

电子枪 预对中钨灯丝

样品台 3-轴自动马达台

X：0 ～ 40 mm, Y：0 ～ 50 mm, Z：5 ～ 15 mm

R：360°, T：-15° ～ ＋90°

样品尺寸 直径80 mm

样品高度 40 mm

尺寸 主机：450（W） x 640（D） x 670（H） mm

供电单元：450（W） x 640（D） x 450（H） mm

探测器选配

高灵敏度低真空二次电子探测器（UVD）

能量分散型X线探测器（EDS）