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面议| 流量范围 | 0….+/-200sccm到0….+/-1slpm |
| 输出信号 | 1…..5V |
| 重复性和迟滞性 | +/-0.25%读数 |
| 压力连接 | 管接头(Φ5.1mm) |
| 尺寸 | 31*16*32mm |
