旋涡干式真空泵
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1200度三温区晶体生长炉
2000度提拉法晶体生长炉
主要用途
薄膜制备设备、大科学工程与化学分析设备;半导体封装设备等无油抽气系统的配泵;分子泵的前级泵;
医疗仪器、生物制品与药品制备设备;食品、药品等包装设备; 特气回收、液晶注入设备。
设备特点
泵内无油,可获得清洁的真空环境;低噪音;无需水冷,耐腐蚀;操作简便,维护费用低廉。
设备优势
超高加工精度,提高使用寿命;特殊动密封材料,不产生颗粒,耐磨损
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