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| 名称 | 真空石英等离子清洗机 |
| 型号 | TS-SY05 |
| 外形尺寸（W×H×D） | 600×420×320mm |
| 反应腔容量 | Φ160×240mm |
| 反应腔体材料 | 石英 |
| 真空泵 | BOSS合资4L/S |
| 角阀 | 超真空40KF |
| 射频电源 | 13.56MHZ |
| PLC系统 | 松下 |
| 电气系统 | 施耐德 |
| 触摸屏 | 松下4.3寸 显控 |
| 陶瓷封装 | 进口高频陶瓷 |
| 处理气体 | O2、Ar2、N2、H2、CF4 |
| 输出功率 | 0-300W可调 |
绿色环保、不使用化学溶剂、无二次污染、操作简便、使用和维护成本极低。
石英型等离子清洗器采用电感耦合式工作原理，在微波管、零件绝缘方面作用很突出，适用于高洁净度的敏感产品处理；广泛地被大中院校、科研机构、企业研发机构和实验室采用。其产品主要应用在材料科学、高分子科学、生物医药材料学、微流体研究、微电子机械系统研究、光学、显微术、牙科医疗等领域中的污染物清除、表面活化、粘合前处理、表面化学改性、聚合物移植或表面涂覆等方面。该产品能处理塑料、生化材料、PDMS、玻璃或金属半导体、陶瓷、复合材料、高分子聚合物等材料，并对所处理的材料表面带来表面超洁净、杀菌、提高湿润性转变、表面性质改变、提高结合力等处理效果。
