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所在地
| 名称 | 中型立式真空等离子机 |
| 型号 | TS-PL120MA |
| 外形尺寸（W×H×D） | 1300mm×930mm×1900mm |
| 反应腔尺寸（W×H×D） | 500×500×500mm |
| 真空腔体材料 | 进口316不锈钢 |
| 真空泵 | 进口品牌 4L/S |
| 角阀 | 北仪 超真空40KF |
| 流量控制器及显示仪 | sevenstar ?0-800ml/min |
| 真空显示规管及读取器 | Pirani |
| 射频电源 | 美国品牌 40KHZ、100KHZ 13.56MHZ 、2.45GHZ |
| PLC系统 | 三菱（包括PLC，A/D模组两组，D/A模块两组，温度模块） |
| 电气系统 | 施耐德 |
| 变频器 | 西门子2KW |
| 触摸屏 | 中国台湾威纶真彩10.7寸 |
| 陶瓷封装 | 进口高频陶瓷 |
| 处理气体 | O2、Ar2、N2，H2、CF4 |
120升真空等离子清洗机可用于清洗、刻蚀、活化和表面准备等；去除有机污染物、油污或油脂；增强材料表面邦；提高材料表面浸润能力；等离子处理后涂覆/涂镀。定性可选择40KHz、13.56MHz和2.45GHz三种射频发生器，以适应不同的清洗效率和清洗效果需要。
