MCL双轴纳米位移台

MCL双轴纳米位移台

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2024-05-31 16:57:34
201
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深圳维尔克斯光电有限公司

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产品简介

Nano-PDQ 系列纳米定位平台是高速精密多轴压电纳米定位系统。Nano-PDQ 系列占地面积小,中心孔径大,同时还具有快速响应和亚纳米级精度。Nano-PDQ 系列纳米定位平台非常适合需要高扫描速率或大负载能力的应用。Nano-PDQ 系列具有最多三个轴的平行、非耦合运动,以及集成的位置传感器,利用MCL专有的 PicoQ® 技术在闭环控制下提供、可重复的位置测量和亚纳米级精度。

详细介绍

XY两轴压电纳米定位平台多种型号可选,快速响应,亚纳米精度

自上个世纪九十年代开始Mad City Labs, Inc MCL)一直是亚纳米定位分辨率领域的二轴纳米定位平台MCL的设计商,制造商。MCLMCL双轴纳米位移台产品线涵盖了多个行程,多种不同的负重能力,能满足客户的不同应用需求。

Nano-Bio系列二轴纳米定位平台MCL

Nano-Bio系列二轴纳米定位平台MCL是超扁平双轴压电纳米定位系统。扁平的设计使 Nano-Bio系列二维纳米定位平台能够轻松集成到现有的倒置显微镜、原子力显微镜和其他空间有限的仪器中。大中心孔径使 Nano-Bio二维纳米定位平台能够适应所有主要显微镜制造商的镜头。Nano-Bio 系列二轴纳米定位平台MCL包括采用 PicoQ® 技术的内部位置传感器,可在闭环反馈控制下提供、可重复的位置测量和皮米精度。Nano-Bio100Nano-Bio200 Nano-Bio300 由铝制成,是光学显微镜的理想选择。Nano-Bio2M 热稳定性更高,整体尺寸更小。


主要应用:

-光学显微镜,易于改装

-荧光成像

-闭环原子力显微镜(AFM)扫描仪

-纳米光刻技术

-光学镊子

-超分辨率显微镜


Nano-Bio系列二轴纳米定位平台MCL规格参数         

型号

Nano-Bio2M

Nano-Bio100

Nano-Bio200

Nano-Bio300

行程

50*50 um

100*100 um

200*200 um

300*300 um

分辨率

0.1 nm

0.2 nm

0.4 nm

0.6 nm

共振频率(X轴)

500 Hz ±20%

450Hz ±20%

400Hz ±20%

260Hz ±20%

共振频率(Y轴)

400 Hz ±20%

350Hz ±20%

300Hz ±20%

200Hz ±20%

θroll , θpitch(typical)

1 µrad

θyaw (typical)

3 µrad

刚度

1.0 N/µm

负载(横向)

0.5 kg

负载(纵向)

.0.2 kg

材质

铝、殷钢或钛

Nano-Bio系列二轴纳米定位平台MCL


Nano-PDQ系列纳米定位平台:

Nano-PDQ 系列纳米定位平台是高速精密多轴压电纳米定位系统。Nano-PDQ 系列占地面积小,中心孔径大,同时还具有快速响应和亚纳米级精度。Nano-PDQ 系列纳米定位平台非常适合需要高扫描速率或大负载能力的应用。Nano-PDQ 系列具有最多三个轴的平行、非耦合运动,以及集成的位置传感器,利用MCL专有的 PicoQ® 技术在闭环控制下提供、可重复的位置测量和亚纳米级精度。


主要应用:

-快速多轴扫描

-光陷阱校准

-粒子跟踪


Nano-PDQ系列纳米定位平台规格参数:         

型号

Nano-FDQ250

Nano-FDQ350

Nano-FDQ275

Nano-FDQ375

X轴行程

50 um

50

75

75

Y轴行程

50 um

50

75

75

Z轴行程

/

50

/

50

分辨率

0.1 nm

0.1 nm

0.15 nm

0.15 nm

X轴共振频率

1080 Hz ±20%

Y轴共振频率

840 Hz ±20%

Z轴共振频率

265 Hz ±20%

扫描速度

到400 Hz

θpitch(typical)

≤1 µrad

θroll(typical)

≤1 µrad

θyaw (typical)

≤3 µrad

刚度

3.0 N/µm

负载(横向)

0.5 Kg

负载(纵向)

0.2 Kg

材质

铝、殷钢或钛

Nano-PDQ纳米定位平台


Nano-PDQ系列多轴纳米定位平台:

Nano-MET2二维纳米定位平台和 Nano-MET3 是超低噪声、高精度压电纳米定位系统,具有皮米定位分辨率。内部位置传感器采用MCL PicoQ® 技术,可在闭环控制下提供、可重复的位置测量,是要求苛刻的计量应用的理想之选。可提供苛刻原子力显微镜应用所需的超快响应。


主要应用:

-高速、高分辨率定位

-测量

-AFM

-SPM


Nano-MET系列多轴纳米定位平台规格参数:         

型号

Nano-MET2

Nano-MET3

XY轴行程

75 um

75 um

Z轴行程

/

5 um

XY轴分辨率

0.15 nm

Z轴分辨率

0.005 nm

XY轴共振频率(MET2)

1.4 kHz

XY轴共振频率(MET3)

1.0 kHz

Z轴共振频率(MET3)

13.5 kHz

负载(横向)

100 g

负载(纵向)

100 g

材质

Nano-MET系列多轴纳米定位平台


Nano-BioS系列MCL双轴纳米位移台:

与广受欢迎的 Nano-Bio 系列一样,新型 Nano-BioS 系列MCL双轴纳米位移台也是超扁平双轴压电纳米定位系统,可轻松集成到现有的倒置显微镜、原子力显微镜和其他空间有限的仪器中。Nano-BioSMCL双轴纳米位移台具有较大的矩形中心孔,可容纳用于标准 3 英寸载玻片和其他类似尺寸生物样品(如 Lab-Tek 载玻片)的重入式样品架。Nano-BioS 系列二维纳米定位平台包括采用 Mad City Labs MCLPicoQ® 技术的内部位置传感器,可在闭环反馈控制下提供、可重复的位置测量和皮米分辨率。Nano-BioSMCL双轴纳米位移台由阳极氧化铝制成,提供三种运动范围: 100微米、200微米和300微米。


主要应用:

-孔径大小适合 3 英寸玻片

-光学显微镜,易于改装

-荧光成像

-闭环原子力显微镜(AFM)扫描仪

-纳米光刻技术

-光学镊子

-超分辨率显微镜


Nano-BioS系列MCL双轴纳米位移台规格参数         

型号

Nano-BioS100

Nano-BioS200

Nano-BioS300

行程

100*100 um

200*200 um

300*300 um

分辨率

0.2 nm

0.4 nm

0.6 nm

共振频率(X轴)

400Hz ±20%

350Hz ±20%

300Hz ±20%

共振频率(Y轴)

280Hz ±20%

230Hz ±20%

180Hz ±20%

刚度

1.0 N/µm

θroll , θpitch(typical)

1 µrad

θyaw (typical)

3 µrad

负载(横向)

0.5 kg

负载(纵向)

0.2 kg

材质

铝、殷钢或钛

Nano-BioS系列MCL双轴纳米位移台


Nano-H系列XY轴纳米压电定位平台:

Nano-H 系列XY轴纳米压电定位平台是一款结构紧凑的双轴压电纳米定位平台,以经济实惠的价格提供的定位性能。大中心孔径使 Nano-H 系列XY轴纳米压电定位平台非常适合需要透射光束的应用,或安装大体积组件(如多根光纤、光学器件和计量探头)的应用。内部位置传感器采用 PicoQ® 技术,与 Nano-Drive® 控制器配合使用时,可提供、可重复的位置测量和皮米精度。Nano-H 系列XY轴纳米压电定位平台有多种材质可供选择,包括铝、钛或英钢。


主要应用:

-光学显微镜

-AFM

-荧光成像

-光学


Nano-H系列XY轴纳米压电定位平台规格参数         

型号

Nano-H100

Nano-H50

行程

100*100 um

50*50 um

分辨率

0.2 nm

0.1 nm

共振频率(X轴)

500 Hz ±20%

共振频率(Y轴)

.250 Hz ±20%

刚度

1.0 N/µm

θroll , θpitch(typical)

1 µrad

θyaw (typical)

3 µrad

负载(横向)

0.5 kg

负载(横向)

0.2 kg

材质

铝、殷钢或钛

Nano-H系列XY轴纳米压电定位平台


Nano-T系列双轴纳米定位器,:

Nano-T 系列双轴纳米定位器,是经济型多轴压电纳米定位系统,有多种配置可供选择。Nano-T 系列在 X Y 轴上的运动范围可达 200 微米,在 Z 轴上的运动范围可达 50 微米。内部位置传感器采用专有的 PicoQ® 技术,在闭环控制下提供、可重复的位置测量和皮米精度。Nano-T 系列双轴纳米定位器,非常适合需要精确压电纳米定位,但整个平台高度并不重要的应用。如果需要超薄系统,则应考虑Mad City Labs Nano-Bio2 Nano-LP系列。


主要应用:

-多轴校准

-荧光成像

-闭环原子力显微镜(AFM)扫描仪

-超分辨率显微镜


Nano-T系列双轴纳米定位器,规格参数         

型号

Nano-T11

Nano-T22

Nano-T112

Nano-T115

Nano-T22

2

Nano-T22

5

行程(XY

100 um

200 um

100 um

100 um

200 um

200 um

行程(Z

/

/

20um

50um

20um

50um

分辨率(XY

0.2 nm

0.4 nm

0.2 nm

0.2 nm

0.4 nm

0.4 nm

分辨率(Z

/

/

0.04 nm

0.1 nm

0.04 nm

0.1 nm

共振频率(X轴)

450Hz ±20%

400Hz ±20%

450Hz ±20%

450Hz ±20%

400Hz ±20%

400Hz ±20%

共振频率(Y轴)

250Hz ±20%

200Hz ±20%

250Hz ±20%

250Hz ±20%

200Hz ±20%

200Hz ±20%

共振频率(Z轴)

/

/

450Hz ±20%

350Hz ±20%

450Hz ±20%

350Hz ±20%

刚度

1.0 N/µm

θroll , θpitch(typical)

1 µrad

θyaw (typical)

3 µrad

负载(横向)

0.5 kg

负载(横向)

0.2 kg

材质

铝或殷钢

Nano-T系列双轴纳米定位器


Nano-Max50 XY纳米压电位移平台:

Nano-Max50 XY纳米压电位移平台是一款重型双轴压电纳米定位平台,专为承载重型实验组件而设计。Nano-Max50 XY纳米压电位移平台的承重能力为5千克,可用于低温光学显微镜低温恒温器的精确定位等应用。低矮的外形和超大的孔径使 Nano-Max50 XY纳米压电位移平台可以集成到现有的光学显微镜中。内部位置传感器采用 PicoQ® 技术,可在闭环控制下提供皮米级精度的、可重复位置测量。Mad City Labs的特殊 Nano-Max 系统的运动范围可超过标准的50um


主要应用:

-精密低温恒温器定位

-低温光学显微镜

-量子点研究


Nano-Max50 XY纳米压电位移平台规格参数         

型号

Nano- Max50

X轴行程

50 um

Y轴行程

50 um

分辨率

0.1 nm

X轴共振频率

1.5 kHz ±20%

Y轴共振频率

1.0 kHz ±20%

刚度

5.0 N/µm

θroll , θpitch(typical)

1 µrad

θyaw (typical)

3 µrad

负载

5 Kg

材质

Nano-Max50 XY纳米压电位移平台


Nano-HS系列多轴纳米定位台:

Nano-HS 系列是一种高速、多轴、精密压电纳米定位系统,具有皮米定位分辨率。Nano-HS 可配置为提供 XY XYZ 运动,具有的多功能性。内部位置传感器采用专有的 PicoQ® 技术,可在闭环控制下提供、可重复的位置测量。紧凑的占地面积、超低噪声特性和 5kHz Z 轴谐振频率,使其非常适合要求本底噪声小于 10 皮米和高速性能的计量应用。


主要应用:

-高速、高分辨率定位

-计量

-AFM

-SPM


Nano-HS系列多轴纳米定位台规格参数         

型号

Nano- HS2

Nano- HS3

X、Y轴行程

10 um

10 um

Z轴行程

/

10um

分辨率

0.01 nm

X、Y轴共振频率

1.5 kHz ±20%

1.0 kHz ±20%

Z轴共振频率

/

5.0 kHz ±20%

扫描速度

300Hz

刚度

8N/µm

负载(横向)

0.1 kg

负载(纵向)

0.1 kg

材质

铝、殷钢或钛

Nano-HS系列多轴纳米定位台



Nano-M250 两轴压电纳米定位平台:

Nano-M250 两轴压电纳米定位平台是一种结构紧凑的双轴压电纳米定位系统,由铝制成。Nano-M250 尺寸小巧,可轻松集成到纳米光刻和扫描电子显微镜等应用的现有仪器中。内部位置传感器采用 PicoQ® 技术,可在闭环控制下提供皮米级精度的、可重复位置测量。Nano-M250 两轴压电纳米定位平台还提供适配高真空和超高真空兼容型号。Mad City Labs可为客户提供定制修改,包括运动范围。


主要应用:

-校准及对准

-纳米光刻技术

-扫描显微镜


Nano-M250 两轴压电纳米定位平台规格参数         

型号

Nano- M250

X轴行程

50 um

Y轴行程

50 um

分辨率

0.1 nm

X轴共振频率

370 Hz ±20%

Y轴共振频率

300 Hz ±20%

刚度

1.0 N/µm

θroll , θpitch(typical)

1 µrad

θyaw (typical)

3 µrad

负载(横向)

0.5 kg

负载(纵向)

0.2 kg

材质

Nano-M250 两轴压电纳米定位平台



Nano-SPM200 XY纳米位移台:

Nano-SPM200 XY纳米位移台是一种紧凑型双轴(XY)铝制压电纳米定位系统。Nano-SPM200 XY纳米位移台的紧凑设计使其非常适合集成到扫描探针显微镜系统中。内部位置传感器与闭环 Nano-Drive 控制器相结合,可提供亚纳米级的定位分辨率和长期稳定性。每个轴的独立挠性导轨运动提供了机械隔离,确保轴之间的串扰最小。样品可安装在顶部平面的任何位置,并通过四个螺纹安装孔固定。Nano-SPM200 XY纳米位移台是与Mad City LabsMCL)的 MadPLL® 系统配合使用的理想 XY 扫描平台。


主要应用:

-原子力显微镜(AFM)、扫描探针显微镜(NSOM)和其他类型的扫描探针显微镜(SPM

-XY轴高精度对准

-纳米光刻技术


Nano-Max50 XY纳米位移台规格参数         

型号

Nano-SPM200

X轴行程

200 um

Y轴行程

200 um

分辨率

0.4 nm

X轴共振频率

300Hz ±20%

Y轴共振频率

300Hz ±20%

负载(横向)

0.5 Kg

负载(纵向)

0.2 Kg

材质

Nano-SPM200 XY纳米位移台


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