这款大型显微镜位移台是为尼康L200/300系列和奥林巴斯MX51/61系列等大型工业检测显微镜设计的大型电控显微镜样品台。
采用开放式框架设计允许透射光照明,可以配置玻璃板样品架或插入件,也可以配置多种大尺寸的载物台样品架和载物台插件，包括用于半导体检测的真空晶圆吸盘和卡盘。
大型显微镜位移台是直流伺服电机驱动的,也兼容其它精密无空回反冲的齿轮头电机或较大的spur-head电机以获得更高运行速度。该大型显微镜位移台还兼容高精度线性编码器。

大型显微镜位移台特点
1.闭环直流伺服控制用于精准定位和高重复性聚焦；
2.宽的动态范围速度与操纵杆控制；
3.背光液晶显示器显示XY和Z坐标轴；
4.“0”和“Home”按钮用于简单的独立操作；
5.紧凑的符合人体工程学桌面控制尺寸是6”D x 9”W x 3”H；
6.微处理器控制与RS-232串行和USB通信；
7.许多经过验证操作的流行软件包。
大型显微镜位移台可选线性编码器附件

轴	分辨率	比例尺精度
XY	10 nm	± 3 μm 每尺寸长度

大型显微镜位移台可选螺杆附件

丝杆螺距选择	旋转编码器分辨率	速度
25.40 mm (Ultra-coarse)	88 nm	28 mm/sec
12.70 mm (Super-coarse)	44 nm	28 mm/sec
6.35 mm (Standard)	22 nm	7 mm/sec
1.59 mm (Fine)	5.5 nm	1.75 mm/sec
0.635 mm (Extra-fine)	2.2 nm	0.7 mm/sec

注明：标准丝杆螺距精准度是0.25纳米每毫米。
大型显微镜位移台可选齿轮头电机

丝杆螺距选择	旋转编码器分辨率	速度	可重复性
1/16″	210 nm	30 mm/sec	4.5 μm
1/4″	0.84μm	120 mm/sec	8.0 μm
1/2″	1.7 μm	120 mm/sec	15.0 μm

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