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脱泡・防氧化用特殊高温设备。
适用标准：GB/T2423.1（IEC60068-2-1）、GB/T2423.2（IEC60068-2-2）、ISO16750；JESD22、GB/T 14710、GB/T 13543。
新计装、简易的设计
自动控制压力与温度控制组合的程序运行、操作简便、功能。易观测试料状态的观察窗（选购件）
保证出色的温度均匀性能的箱内二重构造真空容器的内侧再有一个内槽的二重构造、内箱的外面再设置一个加热器以减少热量流失、提高温度均匀性能。大幅度缩短温度上升时间、提高设备的稼动率。
用途广泛、可用于脱泡·脱气·硬化·干燥等
LED生产过程中树脂液体混合时以及硅胶液体混合时的脱泡处理、各种树脂成型时的脱气处理、IC注入环氧树脂时硬化处理、电子零部件水清洗后的干燥等均可使用。
| 温度范围 | 内容积 | 型类 | 内尺寸 | 外尺寸 |
| +40～+200℃ | 91L | 大气压范围： 933-1[*102Pa](abs) | 450×450×450 | 902×1,392×780 |
| +40～+200℃ | 216L | 大气压范围：933-1[*102Pa](abs) | 600×600×600 | 1,052×1,532×930 |
| +40～+200℃ | 512L | 大气压范围：933-1[*102Pa](abs) | 800×800×800 | 1,252×1,772×1,130 |
