小型粉末PVD包覆系统VTC-16PW
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面议微型PECVD系统
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面议高真空三温区CVD系统OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV
面议1700℃单温区三通道混气CVD系统GSL-1700X-F3LV
面议1700℃两通道混气高真空CVD系统GSL-1700X-4-C2HV
面议单室等离子增强化学气相沉积(PECVD)
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