产品型号

SKCC-TFB-X（高真空条形方靶）

产品规格

SKCC-TFB-X：

X代表方靶的“长X宽”尺寸，例如：

方靶尺寸：300X70(mm)，则名称为：SKCC-TFB-300x75

700X90(mm)，SKCC-TFB-700x90

1000X120(mm)，SKCC-TFB-1000x120

方靶尺寸范围：

长：220-2000，宽：75-150  单位：mm

其它尺寸可以根据客户要求订制：

主要特点

1、采用电磁场的有元计算法来设计永磁体，以得到较高的磁场强度和均匀分布；

2、条形方靶采用特殊结构（大型条形方靶经过生产线检验），可保证长期工作；

4、标准的接头，大型与DC匹配,小型既可以与DC电源匹配也可以与RF电源相匹配；

5、安装采用标准真空法兰（CF金属密封或Dg胶圈密封可选）；

6、靶材更换较为简单，无需调整溅射头的高度。

配套电源

1、直流DC；2、射频RF