SKCC-GZB-X高真空磁控溅射永磁靶头(公、自旋转靶头)

SKCC-GZB-X高真空磁控溅射永磁靶头(公、自旋转靶头)

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-06-30 20:22:36
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沈阳科晶自动化设备有限公司

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产品简介

SKCC-GZB-X高真空磁控溅射永磁靶头(公、自旋转靶头)

详细介绍

产品简介:SKCC-GZB-X高真空磁控溅射永磁靶头(公、自旋转靶头)适用靶材种类较广,如金属/绝缘靶或磁性/非磁性靶材。配装有环形永磁体在头上,以保证溅射镀膜的效率和均匀性。可与DC或RF电源配合使用。

 

产品型号

SKCC-GZB-X(高真空磁控溅射公、自旋转靶头)

产品规格

1寸,SKCC-GZB-1

2寸,SKCC-GZB-2

3寸,SKCC-GZB-3

4寸,SKCC-GZB-4

注:其它尺寸可以订制

主要特点

1转靶带挡板(可实现每次露出一个工作的靶,避免交叉污染);

2、采用电磁场的有元计算法来设计永磁体,以得到较高的磁场强度和均匀分布

3转靶转速5~60转/分可调;

4、标准的HN型接头,可与DCRF电源相匹配

5、安装采用标准真空法兰(CF金属密封或Dg胶圈密封可选);

6、靶材更换较为简单,无需调整溅射头的高度。

配套电源

1、直流DC2、射频RF

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