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简介 :
Leica EM ACE600是优良的多用途高真空薄膜沉积系统,设计来根据您的FE-SEM和TEM应用的需要生产非常薄的,细粒度的和导电的金属和碳涂层,用于**分辨率分析。
这种高真空镀膜机可以通过以下方法进行配置:溅射、碳丝蒸发、碳棒蒸发、电子束蒸发和辉光放电。
适用于Leica EM ACE600高真空镀膜机的Leica EM VCT真空冷冻传输系统,是无污染的低温扫描电镜样本制备的理想解决方案。
EM ACE600 溅射镀膜机配备可配置的金属处理室,非常灵活,可以适应广泛的应用。通过在单个制备过程中运行多达两个不同的源,甚至为高级冷冻工作流程配置 EM ACE600,实现您的工作流程目标并满足您实验室的需求。
l 对平面或结构化的非导电样品进行高分辨率成像
l 增强纳米级结构的对比度,例如蛋白质或 DNA 链
l 为 TEM 网格生产薄而坚固的支撑层或
l 为敏感样品提供保护层
l 扩展冷冻应用系统
使用 EM ACE600 高真空镀膜系统,每次运行都能始终如一地生产出高质量的溅射镀膜薄膜。凭借基于的自动化溅射镀膜工艺,满足您镀膜需求的正确条件并获得可重复的结果。
执行高达 200kX 及更高倍率的高倍 SEM 分析,具有 <2x10-6 mbar 的出色基础真空和一系列溅射靶材的精细平衡工艺参数。根据样品形态的需要调整样品距离和涂层角度。
为了进一步提高镀膜效果,您可以使用Meissner trap将真空增加到 10-7 毫巴范围,然后尝试溅射靶材或对氧气敏感的样品材料。
使用 EM ACE600,您可以通过使用碳螺纹涂层、碳棒涂层或电子束蒸发来生产高质量的碳膜。
碳丝蒸发已成为一种广泛使用的方法
Leica Microsystems 开发了的自适应脉冲方法,应用于 EM ACE600。它可以生产亚纳米厚度的**、坚固和非晶薄膜,同时**限度地减少对样品的热影响。无论您是需要纳米级薄、坚固且清洁的 TEM 支撑层、扩散(保护)涂层,还是大型均质碳层,碳线都是正确的选择。
对于专用应用,例如旋转阴影,您可以使用电子束蒸发器。其光束发散角小,非常适合用于阴影涂层,以增强纳米级结构的边缘对比度。
由于 EM ACE600 的大型可配置金属处理室,可以在不破坏真空的情况下在一台涂布机中运行多个工艺。同时,将溅射头与的碳丝蒸发器相结合,或选择两个溅射源,在单个制备过程中实现多层金属涂层。
l 得益于优化的双源概念,带有两个倾斜端口和一个旋转载物台,在整个 100 mm 载物台上生产均匀分布的薄膜
l 从坚固的碳线、电子束和溅射镀膜机源中选择
l 为您的 EM ACE600 配备辉光放电溅射
l 可随时现场升级
使用 EM ACE600 碳和溅射镀膜机,只需按一个按钮即可完成您的常规样品制备。简单可靠的工作流程和方便的标准操作程序使您能够专注于 EM 样品制备的关键部分。您可以专注于优化您的工作流程,减少学习如何操作系统或培训他人如何使用系统的时间。
l 通过前门安全装载和卸载敏感样品
l 基于工作流的用户界面和对相关参数的快速访问指导方式
l 重量轻、坚固耐用的光源,便于日常处理