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SP-MSM-4CZ是一款采用4电弧的提拉法单晶生长炉(采用Ar气电弧对样品熔融,提拉装置提拉),其温度可达3000℃。腔体为304不锈钢腔体(带有水冷夹层),真空度可达10-5Torr.此款单晶炉特别适合生长高熔点的单晶,如Ti单晶,YSZ,SiC和CeRh2Si等等。
性能指标和基本配置 | |
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腔体 | ● 采用304不锈钢腔体,带有水冷夹层,可通入冷却水 |
真空计 | 腔体上安装有数显防腐真空计和机械压力表 |
电弧枪 | ● 共有4个电弧枪,可让样品得到均匀的温场(电弧枪都带有冷却水) |
样品台 | ● 采用水冷铜坩埚 |
提拉机构 | ● 控制器控制提拉机构的提拉速度,转速和转速 |
控制单元 | 可显示和设置单晶生长的参数(起弧电流,提拉杆转速,提拉行程和转速) |
真空泵 | ● 设备中配有一分子泵系统(机械泵+涡旋分子泵) |
循环水冷机 | ● 功率:800W |
设备尺寸 | 800mm(L)*800mm(W)*1500mm(H) |
保修期 | 一年保修,终身技术支持。 特别提示: 1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 |