SKJ-LCZ 悬浮提拉晶体生长炉

SKJ-LCZ 悬浮提拉晶体生长炉

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2022-12-07 14:36:36
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深圳市科晶智达科技有限公司

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产品简介

SKJ-LCZ是一款特殊的提拉法(CZ)晶体生长炉(采用悬浮熔炼对金属样品熔化,温度可达2000℃)

详细介绍

SKJ-LCZ是一款特殊的提拉法(CZ)晶体生长炉(采用悬浮熔炼对金属样品熔化,温度可达2000℃)。此系统采用组成:高频感应加热电源,高真空腔体,水冷铜坩埚(悬浮熔炼)和精密提拉机构。悬浮熔炼避免了坩埚的污染,可得到高纯度的金属(合金)单晶。

性能指标和基本配置
设备结构

● 40KW感应加热电源,用于悬浮熔炼
● 特殊设计水冷铜坩埚,可熔炼60g样品
● 高真空腔体,真空度可达10-6torr(采用分子泵系统)
● 精密可旋转(籽晶杆可旋转)提拉机构,提拉速度为0.1mm/h-24mm/h

感应加热电源

● 功率:40KW
● 频率 :80-200KHz
● 电流:10-100A
● 电压: 380V +/-10% , 三相, 50/60Hz
● 水冷却:水压 ≧0.2MPa 水流量: ≧10L/min

水冷铜坩埚

● 坩埚尺寸: Φ35mm* 60mm
● 熔炼量: 60g
● 需冷却水流量: 58L/min

提拉机构

● 提拉速度: 0.1-24mm/h
● 籽晶杆转速: 0.03-50r/min
● 提拉行程: 250 mm
● 可快速手动提拉
● 提拉杆内部有水冷却

真空腔体&真空泵

● 采用SS304不锈钢腔体,带有水冷夹层
● 腔体尺寸: Φ400x 40 D mm
● 石英窗口: Φ300mm
● 真空度: 10-6 Torr (采用分子泵系统)
● 真空泵: 分子泵体统,抽气速率700L/S

循环水冷机

● 设备所需冷却水流量≧110L/min
● 可在本公司选购循环水冷机

质量认证

CE认证
1

保修期 一年保修,终身技术支持。
特别提示:
1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
点击查看售后服务承诺书。
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