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应用参数:
与以往的带破坏单元相比,安装面积减少44%,重量减少53%,适用于制造装置的小型化。
即使在空间也可安装,装置设计的自由度更高。
通过轻量化,便于安装在装置可动部。
通过无正压的真空脱离,无需采取措施防止芯片被吹走。
无需繁琐地调整破坏压力、流量及定时。
单元中配备真空用压力传感器,外形更小巧。
负压检测也实现省空间。
采用U形卡销固定压力传感器,提高可维护性。
不使用真空破坏阀,实现了精简化。
不仅耐久性高,还可防止误动作及异物卡入,实现了稳定的响应性。
可抑制发热,减少耗电。
可应对小型3通阀的各种用途。(气控阀・气缸驱动、吸附搬送、吹气等)
有正压专用3QE・3QZ系列、正负压用3QB系列、正负压用大流量3QR系列。
AB42-03-7-03AG-AC220V
4KA110-M5-B-DC24V
SCPD3-00-10-45
SSD2-L-12-45-TOH-D-N
SSD2-L-16D-25-TOH-D-N-FA
AG43-02-5-E2E-AC220V/Z
PDV3-25A-N2C-AC220V
PDV3-25A-N2C-DC24V
AB41-03-5-B-AC200V
CKD电磁阀 AB41-03-4-E2E AC200V
气缸(SSD2-L-32-125
水流量计WFK3012S-10-A0
气缸SCPG2-L-16-200
FSM2-NAF005-S06C23B-P70
STG-M-25-50-T0H-H
STG-M-40-100
EVD-3900-010AP-C3-3/Z
STG-M-12-10-P40-W1
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