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莱峰流体
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M010系列数显型小型流量气体质量流量控制器由质量流量传感器、层流原件、质量流量 控制器调节阀和放大电路组成，它利用流动的流体传递热量改变测量毛细管温度分布的热传导分布效应而制成，其原理是采用毛细管传热前后温度差量热法原理测量气体的质量流量，将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
特点
☆耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽，气体流量不因温度、压力的变化而变化。
耐用
耐腐
☆主体采用不锈钢（304或316L）结构，气密材料采用VITON、聚四氟乙烯等。适用于各种耐腐蚀性气体。
☆具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、工作稳定可靠。
稳定
精确计量
安装便捷
☆可任意位置安装。电气操作控制显示，使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合。
☆配合流量积算仪，可对气体的瞬时流量和累积流量进行精确计量。
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环保
半岛体
微电子工艺设备
医药
科研院所
精密浓度传感器工艺
特种材料学科
化学化工
食品保鲜
应用行业：半导体材料，电工陶瓷材料，电子元器件光电子，激光仪器，仪器仪表，光仪及配件，工业自动化装置，电子电工产品制造设备，电子电工产品设计加工等其他。
用于进行精密测量，具有精度高，稳定性好，可靠性高，安装简单，操作方便。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
● 采用热式原理、气体的质量流量不受环境温度及压力 的变化而变化。
● 管状分流原理，便于更改量程，安装简易。
● 良好的传感器封装，减少外部温度变化的敏感性。
● 测量和控制的量程范围大，满量程可达30ln/min
● 预热时间短、零飘小、测量和控制精度高，适用于微 小流量的测量和控制。
● 可通过二次仪表或者PLC与仪表进行通讯，操作简单。
● 高精度：优于 1%
● 可测范围广,2 ～ 99%
● 响应时间快,优于1s
● 可用于多种气体
● 可提供编辑混合气体标定
