利用 Thermo Scientific™ Theta Probe 角分辨 X 射线光电子能谱仪系统采集角分辨能谱，无须倾斜样品即可无损表征超薄薄膜

新型技术产品所依赖的是固体近表面区域的设计。对于这种类型的材料，包括自组装单层、表面改性聚合物和半导体设备，确定表面几纳米的成分是关键。通过使用平行角分辨 XPS (PARXPS) 和能够提供准确精密结果的 Avantage 数据系统的*软件，Theta Probe X 射线光电子能谱仪系统能够帮助您做到这一点。

Theta Probe 角分辨 X 射线光电子能谱仪系统特性：

· 的弧透镜技术，提供 60° 平行角范围内收集角分辨 XPS 能谱的能力

· X 射线单色器具有用户可选择的光斑尺寸(15 至 400 µm)

· 系统能够处理大样品或多个样品

· CCD 样品对齐显微镜与样品表面垂直。

透镜、分析仪和检测器

· 弧透镜利用大接收角 (60°) 收集光电子

· 大角度可以提高灵敏度，并且允许在 PARXPS 测量中收集大角度范围

· 透镜轴与样品法线成 50°，因此可以收集 20 至 80° 角度范围的电子(相对于样品法线)

· 180° 半球型分析器在输出端配备一个二维检测器

· 二维检测器提供多通道检测，多达 112 个能量通道和 96 个角度通道

· 透镜有两种操作方式：传统模式和角度分辨模式

X 射线源

· 配备一个微聚焦单色器

· X 射线光斑尺寸范围 15 - 400 µm

深度剖析

· 数控式 EX05 离子枪可用于提供深度剖析，哪怕在使用低能离子源时也有着很好的性能

· 深度剖析可使用方位角样品旋转

样品处理

· 全电动样品台，能够实现 5 轴移动

· 样品台可容纳大样品——X 和 Y 轴上的移动范围为 70 mm，Z 轴上的移动范围为 25 mm(高度)

真空系统

· 5 mm 厚高导磁m金属分析室，提高磁屏蔽效率

· 与使用内部或外部屏蔽的方法相比，屏蔽效能更佳

Avantage 数据系统

· 集成了测试分析的所有方面，包括仪器控制、数据采集、数据处理和报告生成

· 允许远程控制，并且可轻松与第三方软件交互(例如 Microsoft Word)

· 管理从样品载入到报告生成的整个分析过程