中图仪器3D表面轮廓仪由光学照明系统、光学成像系统、垂直扫描控制系统、信号处理系统、应用软件构成。其中信号处理系统作为仪器核心部分，由计算机和数字信号协处理器构成。利用计算机采集一系列原始图像数据，然后使用专用的数字信号协处理器完成数据解析作业。重建算法能自动滤除样品表面噪点，在硬件系统的配合下，分辨率可达0.1nm。
 

性能特点

1、轮廓/粗糙度测量功能：
高到亚纳米级的高度分辨率，在宽度、高度、角度、直径等各类轮廓尺寸测量功能以及表征表面整体加工质量的粗糙度等指标；
2、自动化测量功能：
自动单区域测量/自动多区域测量/自动拼接测量；
3、复合型扫描算法：
集合了PSI高精度&VSI大范围双重优点的EPSI扫描算法，有效覆盖从超光滑到粗糙等所有类型样品，无须切换，操作便捷；
4、双重防撞保护功能：
Z轴上装有防撞机械电子传感器、软件ZSTOP防撞保护功能，双重保护，多一重安心；
5、环境噪声检测功能：
环境噪声评价功能能够定量检测仪器当前所处环境的综合噪声数值，对仪器的调试、测试可靠性提供指导；
6、完善的售后服务体系：
设备故障远程&现场解决，软件免费升级。

中图仪器3D表面轮廓仪以白光干涉技术为原理，能够以优于纳米级的分辨率非接触测量样品表面形貌，用于表面形貌纹理，微观结构分析，用于测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，广泛应用于光学，半导体，材料，精密机械等领域。
 

在芯片封装测试流程中，中图仪器3D表面轮廓仪可以测量晶圆减薄和晶圆切割工艺需要测量的晶圆膜厚、粗糙度、平整度（翘曲），晶圆切割槽深、槽宽、崩边形貌等参数。