中图仪器研发生产的SuperView W1 光学轮廓测量仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。可测低反射率到高反射率、各类从超光滑到粗糙的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、微观几何轮廓、平整度、曲率等，可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、光学加工、3C电子玻璃屏及其精密配件、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。
 
在生产中，微观上的表面形貌对工程零件的许多技术性能的评价具有直接的影响，为了能更全面、更真实地反映零件表面的特征以及衡量表面的质量，表面三维微观形貌的测量就越来越重要。SuperView W1 光学轮廓测量仪是利用白光干涉扫描技术为基础，用于样品表面微观形貌检测的精密仪器。可以达到纳米级的检测精度，并快速获得被测工件表面三维形貌和数据。

产品参数
产品功能
1) 一体化操作的测量与分析软件，操作无须进行切换界面，预先设置好配置参数再进行测量，软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，即可快速实现批量测量功能。
2) 测量中提供自动多区域测量功能、批量测量、自动聚焦、自动调亮度等自动化功能。
3) 测量中提供拼接测量功能。
4) 分析中提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能，其中调整位置包括图像校平、镜像等功能；纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能；滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能；提取包括提取区域和提取剖面等功能。
5) 分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能，其中粗糙度分析包括依据国际标准的ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数分析功能；几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等功能；结构分析包括孔洞体积和波谷深度等；频率分析包括纹理方向和频谱分析等功能；功能分析包括SK参数和体积参数等功能。
6）分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能，设置分析模板，结合测量中提供的自动测量和批量测量功能，可实现对小尺寸精密器件的批量测量并直接获取分析数据的功能。

产品性能
纵向扫描：≤10.3mm，与选用物镜相关
扫描帧速：50FPS/s
粗糙度重复性：0.005nm（依据ISO 25178-2012）
光学分辨率：0.4μm~3.7μm，与选用物镜相关
*大点数：1048576（标准）
台阶测量：准确度≤0.3%，重复性≤0.08%1σ
   
SuperView W1 光学轮廓测量仪主要用于成品的质量管理，确保良品合格率。适用于各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙间隙、台阶高度、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、波纹度、面形轮廓、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。广泛应用于如纳米材料、航空航天、半导体等各类精密工件表面质量要求的领域中，可以说只有白光干涉仪才能达到微型范围内重点部位的纳米级粗糙度、轮廓等参数的测量。