激光具有良好的时间相干性，因此据此研发了包括单频激光干涉仪、双频激光干涉仪、半导体激光干涉仪、X射线干涉仪等多种激光干涉仪。其中双频激光干涉仪是激光在计量领域中*成功的应用之一。深圳市中图仪器股份有限公司自主研发生产的SJ6000国内品牌激光干涉仪利用光的干涉实现测量，具有非接触、无损检测的特点，在不同领域都有广泛应用。

在数控机床检定中的应用
激光干涉仪对数控机床进行定位精度检测是目前的高效、高精度的检测方法。可用于大规模集成电路加工设备、精密机床等在线位置测量、误差修正和控制，其中双频干涉仪应用*多。

位置精度是机床的重要指标。与传统检定方法相比，激光干涉仪具有高精度和高效率，能及时处理数据，为机床误差修正提供依据，在机床中的应用是其它传统测量手段难以实现和替代的。目前各国机床检定标准中都推荐使用激光干涉仪。

位移传感器
激光干涉仪反应速度快、测量精度高、易于数字化测量的特点，使其在位移传感器鉴定中的应用是一大发展趋势。在测量中设计一个精密导轨，将反射镜同被测传感器放在一起同步检测，从而形成对比，位移传感器自动检定系统与HP干涉仪对定位移进行测试对比，得出往复测试实验结果。

随着精密测量的性能需求愈来愈高，激光干涉测量技术在精度、分辨率、测量速度等方面的性能不断进步。SJ6000国内品牌激光干涉仪是实现大量程纳米测量的重要方法，具有测量精度高、测量范围大及对待测振动表面无干扰等特点，已广泛应用于航天器微振动的地面测试、雷达目标识别、精密机械制造、材料探伤等领域。

产品描述

• 集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；
• 采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗力强、长期稳定性好的激光频率输出；
• 采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；
• 采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；
• 采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。

功能特点
1.精度高
（1）采用激光双纵模热稳频技术，可实现长期稳定性好、抗力强的激光波长输出；
（2）采用高精度环境补偿单元，可实现波长和材料的手动或自动补偿；
（3）干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，确保干涉光路稳定可靠。
2.功能广
（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等参量的精密测量；
（2）配合WR50自动精密转台，可实现回转轴的角度测量与校准；
（3）适用于测量直线导轨的定位精度、重复定位精度和反向间隙等；
（4）可根据检测程序自动生成数控机床的运行程序；
（5）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据。
3.软件强
（1）友好的人机界面，向导式的操作流程；
（2）丰富的应用功能模块，强大的分析功能模块；
（3）简洁化的记录管理，且支持企业专属模板定制；
（4）支持中文简体、中文繁体、英文、韩文和俄文界面。
4.标准多
内置14份标准，包含GB、ISO、英标、美标、德标、日标等国内外通用标准。可依据各种不同的机床标准分析处理数据，并可打印相应的曲线图和数据报告。

功能模块
SJ6000国内品牌激光干涉仪具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。
 
光学镜组构建
1、线性测量
线性测量构建
进行线性测量要用到“线性干涉镜”和“线性反射镜”。激光从SJ6000主机出射，通过分光镜后将分成两束激光，一束激光为通过角锥反射镜的参考光，另一束为通过角锥反射镜的测量光，通过移动“线性反射镜”可以实现运动轴的线性测量。
2、垂直度测量
垂直度测量构建
垂直度的测量是直线度测量在二维方向上的延伸。垂直度测量由正交轴的两组直线度测量组成，其中直线度反射镜作为共同的参考基准，在测量过程中保持原位，且不进行调整；光学角尺用于至少在其中一次直线度测量中，允许调整激光束与轴的准直。垂直度误差=光学直角尺误差-斜度θ1-斜度θ2。
  3、回转轴测量
回转轴测量需要WR50自动精密转台与SJ6000角度镜组配合使用。WR50作为角度标准器，自身精度为±1''，使用时需固定在被测转轴上，借助SJ6000角度测量功能，即可实现被测转轴0-360°任意角度的高精度测量。

测量原理：当回转轴正传5°，WR50则跟随反转5°，此时相对于激光干涉仪而言并未产生较大的实际角度值，软件将WR50的角度值和SJ6000的角度值进行合并计算，得出回转轴实际转动的角度。
 
动态测量
1.基于时间的动态测量
SJ6000国内品牌激光干涉仪的动态测量软件搭配线性镜组、角度镜组或直线度镜组可以进行相应的线性、角度或直线度的动态测量与性能检测。通常用于一段测量时间内设备的位移分析、速度分析、加速度分析、振幅与频率分析。
2.基于位置的动态测量
CT70正交出发和可监控光栅、编码器、控制器等信号，配合SJ6000激光干涉仪，可实现脉冲触发启动采集和连续脉冲触发采集。适用于运动轴在不停顿的情况下，进行位移数据的连续采集。

注意事项

• 对角线测量套装配置需求：对角线测量套装＋可调转向镜
• 平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组
• 平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可
• 短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组
• 长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组
• 直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量