双频激光干涉仪是激光在计量领域中*成功的应用之一，是工业中*具的长度测量仪器。目前干涉仪产品大多为双频激光干涉仪，其采用的外差干涉测量原理，克服了普通单频干涉仪测量信号直流漂移的问题，真正用于实际生产中。

国外生产激光干涉仪的公司有美国的Agilent(前身为HP)、ZYGO、英国的Renishaw等公司。其产品各具特点，但售价也都很昂贵，一度垄断国内市场。SJ6800国产激光干涉仪的上市将打破这一局面，大大降低国内企业的检测成本。
 
产品参数
产品型号： SJ6800
产品名称： 激光干涉仪
稳频方式： 双频激光双纵模热稳频
稳频精度： 0.04ppm
测量距离：≤（0-80）m（无需远距离线性附件）
测量分辨力：1nm
测量*大速度：4m/s
线性测量精度：±(0.2μm+0.3μm/m) (0～40)℃
角度测量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m)
主要特点：jue对测量、恒测力、无阿贝误差

功能特点
1）测量精度高：以激光干涉技术为核心，分辨率可达纳米级；采用高精度环境补偿模块，解决温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响；使用激光热稳频控制系统，保证激光长期稳频精度；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热变形，保证干涉光路稳定。
2）具有实现线性、角度、直线度、垂直度等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等；同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度；并且可满足回转轴分度精度的测量。
3）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，满足机床误差修正的要求。
4）具有动态测量（位移-时间曲线、速度-时间曲线、加速度-时间曲线）及测量振幅和频率分析的功能，可进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等。
5）内置各种类国标（GB）、ISO（）、BS（英制）、美标、DIN（德标）、JIS（日标）等机床检验标准。可依据各种机床标准分析处理数据，并根据测量结果可打印相应的曲线图和数据报告。
6）可自动监测环境温度、材料温度、环境湿度和大气压力的参数。可选择手动或自动对波长进行环境补偿。
7）测量记录采用集中式数据库管理，可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检定员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理检定记录；可将检定数据输出到Word、Excel、AutoCAD（选配）文档。
8）安装方便：基本重量为15kg，简单便携。

产品配置
SJ6800 激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。
· 直线度测量
激光头出射后的激光由直线度干涉镜以一定的小角度分为两束，并入射到直线度反射镜中。经直线度反射镜反射后，沿着新光路返回到直线度干涉镜种，镜直线度干涉镜合束后返回激光头的进光口，有光电探测器、分析器完成计数和测量。
 
在直线度测量过程中，可以由直线度干涉镜或直线度反射镜运动所产生相对于运动轴的横向移动来进行测量，一般尽可能的采用直线度干涉镜相对于直线度反射的运动，这样操作有利于提高测量的准确性和精度。直线度测量可以对水平面和垂直面进行测量，这取决于直线度干涉镜和反射镜安装的方法。

· 垂直度测量
垂直度的测量是直线度测量在二维方向上的延伸，进行垂直度测量就是在同一基准上对两个标称正交轴分别进行直线度的测量。然后对两个轴的直线度进行比较，得出两个轴的垂直度。
 
共同的参考基准通常指的是两次测量时反射镜的光学准直轴，在两次测量过程中既不移动、也不调整，光学直角尺测量中，允许调整激光束与直线度的准直，而不动直线度反射镜。

· 回转轴测量
利用SJ6000激光干涉仪的角度测量附件，结合高精密零级多齿分度台，便可以对回转轴进行校准。高精度零级多齿分度台可以旋转并锁定到0°到360°中72个位置中的任何一个，每个位置的间隔为5°，定位误差在1''。
用激光头、角度干涉镜和角度反射镜测量转台的角度位置。软件将转台的角度位置与来自激光头和角度光学镜的读书合并在一起，显示被校准轴的真实转角位置。

SJ6800国产激光干涉仪性能达到了国外仪器的水准，价格是国内仪器的良心价。中图仪器以技术实力为依据，在测量精度、测量速度、测量类型等方面为用户提供了更多选择。