中图仪器的SJ6000型号激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展而来的一种基于外差技术的高精度测量仪器，它可以在恒温，恒湿，防震的计量室内检定量块，量杆，刻尺和坐标测量机等，也可以弃车间，用于特殊场合，诸如半导体光刻技术的微定位和计算机存储器上记录槽间距的测量等等。
 
产品参数
产品型号：SJ6000
产品名称：SJ6000激光干涉仪
稳频方式：双频激光热稳频
稳频精度：0.05ppm
线性测量精度：0.5ppm（0-40）℃
线性测量距离：（0-80）m（无需远距离线性附件）
角度测量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m
测量分辨力：1nm
动态采集频率：50KHz
预热时间：≤6分钟
工作温度范围：（0-40）℃
环境温度范围：（0-40）℃，环境湿度：0-95%
主要特点：应用范围广、测量精度高、操作方便

产品特点
SJ6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现垂直度、平行度、角度、直线度、线性测长、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。
  产品优势
1）精度高
SJ6000激光干涉仪采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗力强、长期稳定性好的激光频率输出；干涉镜与主机分离设计，保证了干涉光路稳定可靠；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿。
2）功能广

• 可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；
• 可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；
• 可实现对机床回转轴的测量与校准；
• 可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；
• 具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；
• 支持手动或自动进行环境补偿。

3）软件强

• 友好的人机界面；
• 丰富的应用功能模块；
• 向导式的操作流程；
• 简洁化的记录管理；
• 支持中文、英文和俄文界面；
• 支持企业专属模板定制。

4）标准多
内置13份标准，包含GB、ISO、英标、美标、德标、日标等国内外通用标准。可依据各种不同的机床标准分析处理数据，并可打印相应的曲线图和数据报告。

应用案例    
在这些测量中，除了应用激光干涉传感器测定工作台（或测杆）位移外，还需有相应的瞄准装置。常用的有光电显微镜瞄准（应用于线纹尺及某些工件尺寸和坐标位置测量），白光干涉瞄准（用于量块检定）及接触瞄准（用于一般精密量块及工件尺寸和坐标位置测量）。激光干涉传感器还可应用于精密定位，如精密机构加工中的控制和校正、感应同步器的刻划、集成电路制作等的定位。 


此前，国产与国外的产品有着一定的差距，SJ6000激光干涉仪型号的推出打破了这一局面，降低了企业的检测成本。在测量精度、测量速度、测量类型等方面，SJ6000激光干涉仪为用户提供了选择。