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安捷伦大型 VacIon Plus 离子泵具有从 150 到 1000 L/s 的氮气抽速范围,并具有 Diode、Noble Diode 和 StarCell 型号。Diode Vaclon Plus 泵通常用于抽空电子器件的通用超高真空 (UHV) 系统中及高分辨电子显微镜中。Noble Diode Vaclon Plus 离子泵用于以恒定的压力抽除混合气体的超高真空应用中,因此非常适用于粒子加速器、同步加速器环和表面分析等应用。设计的 StarCell 能同时抽除大量惰性气体和氢气的离子泵。该泵同样可以高速度和大容量处理甲烷、氩气和氦气。StarCell Vaclon Plus 离子泵适合需要在 10–8 mbar 或以上压力下稳定工作的应用。
性能指标:
大型 VacIon Plus 泵 | 抽气口法兰 | 型号 | 抽速 (L/s)(在 1–6mbar 压力下的饱和泵)氮气 | 工作寿命(小时)(在 1–6 mbar 压力下) | 重量 |
VacIon Plus 150 | 6 英寸外径 CFF (NW 100) | Star Cell | 125 | 80000 | 净重 43 (94) |
外形图:
抽速曲线:
技术规格: